中古機 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） Smc製、型式XYA-40H0のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、軽量かつコンパクトなアルミニウム合金ボディを採用した空圧作動式の高真空ストレート型バルブです。半導体製造装置や各種真空排気ラインなど、幅広い真空プロセスにおける流体の遮断や制御に適しています。

作動方式は単動（ノーマルクローズ）を採用しており、操作エアの供給停止時には内蔵スプリングによって自動的に閉止します。これにより、停電やトラブル発生時における真空破壊の防止とシステム安全性の確保に寄与します。

本モデルは高温仕様に対応しており、使用温度範囲が5℃から150℃（ヒータなし）に拡張されています。これにより、ベーキング処理が必要な環境や、アウトガスの低減が厳格に求められる高真空ラインでも安定した密閉性能を維持します。また、オートスイッチ非搭載の構成となっているため、シンプルな制御システムでの運用を想定した設計です。

内部および外部の漏れ量は1.3×10^-10 Pa・m³/s以下に抑えられており、大気圧から1×10^-6 Paまでの圧力環境において、確実な遮断と排気制御を実現する信頼性の高い真空コンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
・バルブタイプ：高真空ストレート型バルブ（空圧式・単動 / ノーマルクローズ）
・フランジサイズ：KF40（NW40）
・ボディ材質：アルミニウム合金
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa
・操作圧力範囲：0.4 ～ 0.6 MPa
・コンダクタンス：45 L/s
・外部・内部漏れ量：1.3×10^-10 Pa・m³/s 以下（常温時）
・使用温度範囲：5 ～ 150℃（高温仕様・ヒータなし）
・操作ポート接続口径：Rc1/8
・オートスイッチ：なし