中古 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XYA-40H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
10,000円
【AIによる装置概要】
本機は、アルミニウムボディを採用した空圧駆動式の高真空ストレートバルブです。配管を直線状に保ったまま真空ラインの開閉が可能なため、チャンバーや排気系のレイアウトをシンプルに構築する用途に適しています。真空側と大気側を隔てる駆動部にはベローズシール構造が採用されており、可動部からのパーティクル発生を抑えつつ高い気密性を長期間確保します。
本体材質には内部からのガス放出が少ないアルミニウム合金を使用しており、真空引き時間の短縮や到達真空度の向上に寄与します。半導体製造プロセス、真空成膜装置、各種分析機器など、清浄な高真空環境が求められる環境において、排気ラインのメインバルブやアイソレーション（遮断）バルブとして機能します。また、同クラスのステンレス製バルブと比較して軽量かつコンパクトな設計となっており、装置への組み込み負担が少なく、メンテナンス時の取り扱いが容易な点も特徴です。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形状: ストレート形
・駆動方式: 空圧式（ベローズシール構造）
・適用フランジ規格: KF40（NW40）
・使用圧力範囲: 大気圧 ～ 1×10⁻⁶ Pa
・操作（供給）圧力範囲: 0.4 ～ 0.6 MPa
・内部漏れ量: 1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温時）
・外部漏れ量: 1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温時）
・使用流体: 真空、不活性ガス
・使用環境温度: 5 ～ 60 ℃（標準仕様時）
・ボディ材質: アルミニウム合金
・主要シール材質: FKM（フッ素ゴム）
※上記は基本型式および同フランジサイズ（サイズ40）の標準的なカタログ値に基づく参考仕様です。末尾のオプション記号による特殊仕様（ヒーター付きや特殊シールなど）が含まれる個体の場合、使用温度範囲などの一部スペックが標準と異なる場合があります。
本機は、アルミニウムボディを採用した空圧駆動式の高真空ストレートバルブです。配管を直線状に保ったまま真空ラインの開閉が可能なため、チャンバーや排気系のレイアウトをシンプルに構築する用途に適しています。真空側と大気側を隔てる駆動部にはベローズシール構造が採用されており、可動部からのパーティクル発生を抑えつつ高い気密性を長期間確保します。
本体材質には内部からのガス放出が少ないアルミニウム合金を使用しており、真空引き時間の短縮や到達真空度の向上に寄与します。半導体製造プロセス、真空成膜装置、各種分析機器など、清浄な高真空環境が求められる環境において、排気ラインのメインバルブやアイソレーション（遮断）バルブとして機能します。また、同クラスのステンレス製バルブと比較して軽量かつコンパクトな設計となっており、装置への組み込み負担が少なく、メンテナンス時の取り扱いが容易な点も特徴です。
【AIによる参考仕様】
・バルブ形状: ストレート形
・駆動方式: 空圧式（ベローズシール構造）
・適用フランジ規格: KF40（NW40）
・使用圧力範囲: 大気圧 ～ 1×10⁻⁶ Pa
・操作（供給）圧力範囲: 0.4 ～ 0.6 MPa
・内部漏れ量: 1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温時）
・外部漏れ量: 1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 以下（常温時）
・使用流体: 真空、不活性ガス
・使用環境温度: 5 ～ 60 ℃（標準仕様時）
・ボディ材質: アルミニウム合金
・主要シール材質: FKM（フッ素ゴム）
※上記は基本型式および同フランジサイズ（サイズ40）の標準的なカタログ値に基づく参考仕様です。末尾のオプション記号による特殊仕様（ヒーター付きや特殊シールなど）が含まれる個体の場合、使用温度範囲などの一部スペックが標準と異なる場合があります。