中古機 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） Smc製、型式XYA-40のご紹介

【AIによる装置概要】
本製品は、真空排気ラインやガス導入ラインなどの真空配管系で利用される、ストレート型（インライン型）の空圧駆動式高真空バルブです。流路が直線状に配置されているため、配管設計の際に直線のライン上にバルブを組み込むことが可能であり、限られたスペースや特定の配管レイアウトにおいて高い利便性を発揮します。

ボディの主要材質にはアルミニウム合金を採用しており、一般的なステンレス製の真空バルブと比較して大幅な軽量化とコンパクトな設計が実現されています。これにより、装置への取り付けやメンテナンス時の作業負荷が軽減され、システム全体の軽量化にも寄与します。また、アルミニウムボディは熱伝導率が高いため、プロセス中の温度均一性を保ちやすいという物理的な利点も備えています。

駆動方式は空圧式を採用しており、外部からの圧縮空気の供給によって弁の開閉を遠隔または自動で制御できます。シール機構には真空仕様のOリング（標準はフッ素ゴム）が用いられており、大気圧から高真空領域までの幅広い圧力環境下で安定した気密性を維持します。半導体製造装置、真空成膜装置、各種分析機器、および真空チャンバーの粗引き・メイン排気ラインなど、多様な真空システムにおいて汎用的に組み込める信頼性の高いコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
・バルブ構造：ストレート型（インライン型）
・駆動方式：空圧駆動式（スプリングリターン・単動）
・適用フランジ規格：KF40（NW40）
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa
・操作圧力（駆動用空圧）：0.4 ～ 0.7 MPa
・バルブ漏れ量（内部）：1.3×10^-10 Pa・m³/s 以下（常温時）
・バルブ漏れ量（外部）：1.3×10^-11 Pa・m³/s 以下（常温時）
・耐圧（許容背圧）：0.2 MPa 以下（ゲージ圧）
・使用温度範囲：5 ～ 60℃（標準仕様の場合）
・主要シール材質：FKM（フッ素ゴム）
・ボディ主要材質：アルミニウム合金

※上記の数値および材質は標準モデルにおけるカタログ参考値です。中古製品の特性上、過去の利用環境に伴うシール材（Oリング）の経年状態や、特殊仕様（シール材質の変更、ヒーターオプションの有無など）によって実機の仕様が異なる場合があります。稼働の際は事前の気密テストや必要に応じた消耗品の交換を推奨します。