中古 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁）
メーカー名
Smc
型式XYA-40H0
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
15,000円
【AIによる装置概要】
真空排気ラインやプロセスチャンバーの隔離用として幅広く用いられる、アルミニウム合金ボディを採用した空圧式ストレートバルブです。軽量かつコンパクトな設計が特徴であり、装置の省スペース化およびメンテナンス時の負担軽減に貢献します。
ストレート型は、吸気ポートと排気ポートが同一直線上に配置されているため、配管レイアウトにおいて直線的な排気ラインを構築する際に適しています。本装置は操作圧力0.4～0.6 MPaの圧縮空気を用いて弁の開閉を行う空圧駆動方式を採用しており、圧縮空気の供給が絶たれた際には内蔵スプリングによって自動で弁が閉じる、単動ノーマルクローズ型の安全設計となっています。
大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域におけるプロセスに対応可能であり、外部および内部のリーク量は常温において1.3×10^-10 Pa・m3/s以下という厳しい基準をクリアしています。清浄な真空環境の維持が求められる半導体製造装置、真空成膜装置、各種分析機器などの排気配管ラインにおいて、確実な真空遮断と安定した排気制御を実現する構造です。
【AIによる参考仕様】
・バルブ構造：空圧式ストレートバルブ
・適用フランジサイズ：NW40（KF40）
・主要ボディ材質：アルミニウム合金
・使用流体：不活性ガス、真空
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa
・操作圧力（駆動用空気）：0.4 ～ 0.6 MPa
・使用温度範囲：5 ～ 60 ℃（標準仕様時）
・内部リーク量：1.3×10^-10 Pa・m3/s 以下（常温）
・外部リーク量：1.3×10^-10 Pa・m3/s 以下（常温）
・駆動方式：空圧式（単動ノーマルクローズ / ばね戻り）
・動作時間：開時 / 閉時ともに約0.5秒以内（環境による）
※上記は同シリーズ・同サイズにおける標準的なカタログ仕様に基づく参考値です。型式末尾の特殊記号によって、シール材質の変更、ヒーターの有無、表面処理などのカスタマイズ仕様が適用されている場合があります。実際の性能や寸法については、実機の銘板や現状をご確認ください。
真空排気ラインやプロセスチャンバーの隔離用として幅広く用いられる、アルミニウム合金ボディを採用した空圧式ストレートバルブです。軽量かつコンパクトな設計が特徴であり、装置の省スペース化およびメンテナンス時の負担軽減に貢献します。
ストレート型は、吸気ポートと排気ポートが同一直線上に配置されているため、配管レイアウトにおいて直線的な排気ラインを構築する際に適しています。本装置は操作圧力0.4～0.6 MPaの圧縮空気を用いて弁の開閉を行う空圧駆動方式を採用しており、圧縮空気の供給が絶たれた際には内蔵スプリングによって自動で弁が閉じる、単動ノーマルクローズ型の安全設計となっています。
大気圧から1×10^-6 Paまでの高真空領域におけるプロセスに対応可能であり、外部および内部のリーク量は常温において1.3×10^-10 Pa・m3/s以下という厳しい基準をクリアしています。清浄な真空環境の維持が求められる半導体製造装置、真空成膜装置、各種分析機器などの排気配管ラインにおいて、確実な真空遮断と安定した排気制御を実現する構造です。
【AIによる参考仕様】
・バルブ構造：空圧式ストレートバルブ
・適用フランジサイズ：NW40（KF40）
・主要ボディ材質：アルミニウム合金
・使用流体：不活性ガス、真空
・使用圧力範囲：大気圧 ～ 1×10^-6 Pa
・操作圧力（駆動用空気）：0.4 ～ 0.6 MPa
・使用温度範囲：5 ～ 60 ℃（標準仕様時）
・内部リーク量：1.3×10^-10 Pa・m3/s 以下（常温）
・外部リーク量：1.3×10^-10 Pa・m3/s 以下（常温）
・駆動方式：空圧式（単動ノーマルクローズ / ばね戻り）
・動作時間：開時 / 閉時ともに約0.5秒以内（環境による）
※上記は同シリーズ・同サイズにおける標準的なカタログ仕様に基づく参考値です。型式末尾の特殊記号によって、シール材質の変更、ヒーターの有無、表面処理などのカスタマイズ仕様が適用されている場合があります。実際の性能や寸法については、実機の銘板や現状をご確認ください。