中古 ゲートバルブ
メーカー名
Vat
型式10844-CE44-0005/0322
年式表記：
仕様:空圧
仕様:空圧
本体価格(税別、送料別)
100,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空（HV）および超高真空（UHV）環境の配管系やチャンバー間に設置される空圧複動式のゲートバルブです。呼び径はDN100（4インチ）に対応しており、真空排気システムのメインバルブやプロセスチャンバーの遮断バルブとして機能します。
バルブ内部のシール材にはガス放出量の少ないエラストマー（FKM等）が採用されており、1×10^-10 mbarの超高真空領域から大気圧（1.2 bar）までの幅広い圧力範囲で使用できるように設計されています。閉止時のバルブボディおよびシートのリークレートは1×10^-9 mbar l/s未満に抑えられており、プロセスの要求に応える高い気密性を保持します。
駆動機構には空圧複動式シリンダーを搭載し、0.4〜0.7 MPa（4〜7 bar）の圧縮空気を供給することで、約1秒という高速かつスムーズな開閉動作を実現します。また、本体付属のソレノイドバルブ（電磁弁）や開閉状態を検知するポジションインジケータ（リミットスイッチ）により、外部コントローラーからの遠隔操作や自動制御システムへの統合が容易な構造となっています。半導体製造装置や真空成膜装置（スパッタリング、CVD）、各種研究開発用途など、長期的な信頼性と耐久性が求められる真空プロセスに最適な設計です。
【AIによる参考仕様】
駆動方式：空圧複動式
呼び径：DN 100 (4インチ)
フランジ規格：CF-F DN 100
使用圧力範囲：1×10^-10 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
リークレート（ボディおよびシート）：< 1×10^-9 mbar l/s
最大許容差圧（閉止時）：1 bar
最大許容差圧（開動作時）：30 mbar
作動空気圧力：4 ～ 7 bar (0.4 ～ 0.7 MPa)
開閉動作時間：開 約1.0秒 / 閉 約1.0秒
耐熱温度（バルブボディ）：最大 200 ℃
耐熱温度（アクチュエータ部）：最大 80 ℃
主要ボディ材質：ステンレス鋼
シール材質（ゲートおよびボンネット）：FKM（フッ素ゴム）
本装置は、高真空（HV）および超高真空（UHV）環境の配管系やチャンバー間に設置される空圧複動式のゲートバルブです。呼び径はDN100（4インチ）に対応しており、真空排気システムのメインバルブやプロセスチャンバーの遮断バルブとして機能します。
バルブ内部のシール材にはガス放出量の少ないエラストマー（FKM等）が採用されており、1×10^-10 mbarの超高真空領域から大気圧（1.2 bar）までの幅広い圧力範囲で使用できるように設計されています。閉止時のバルブボディおよびシートのリークレートは1×10^-9 mbar l/s未満に抑えられており、プロセスの要求に応える高い気密性を保持します。
駆動機構には空圧複動式シリンダーを搭載し、0.4〜0.7 MPa（4〜7 bar）の圧縮空気を供給することで、約1秒という高速かつスムーズな開閉動作を実現します。また、本体付属のソレノイドバルブ（電磁弁）や開閉状態を検知するポジションインジケータ（リミットスイッチ）により、外部コントローラーからの遠隔操作や自動制御システムへの統合が容易な構造となっています。半導体製造装置や真空成膜装置（スパッタリング、CVD）、各種研究開発用途など、長期的な信頼性と耐久性が求められる真空プロセスに最適な設計です。
【AIによる参考仕様】
駆動方式：空圧複動式
呼び径：DN 100 (4インチ)
フランジ規格：CF-F DN 100
使用圧力範囲：1×10^-10 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
リークレート（ボディおよびシート）：< 1×10^-9 mbar l/s
最大許容差圧（閉止時）：1 bar
最大許容差圧（開動作時）：30 mbar
作動空気圧力：4 ～ 7 bar (0.4 ～ 0.7 MPa)
開閉動作時間：開 約1.0秒 / 閉 約1.0秒
耐熱温度（バルブボディ）：最大 200 ℃
耐熱温度（アクチュエータ部）：最大 80 ℃
主要ボディ材質：ステンレス鋼
シール材質（ゲートおよびボンネット）：FKM（フッ素ゴム）