中古 ゲートバルブ
メーカー名
Vat
型式95244-PAGC-AAQ1/0094
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
100,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、真空プロセスにおける精緻なチャンバー圧力制御と、確実な真空遮断（アイソレーション）を1台で実現するコントロールゲートバルブです。ステッピングモーター駆動による高分解能なコンダクタンス制御（ガス流量制御）が可能であり、エッチングやCVD、PVDといった半導体・ディスプレイ製造工程など、厳密な圧力管理が求められる環境に適しています。
呼び径DN160（内径約160mm）の配管サイズに対応し、軽量なアルミニウム製のボディとFKM（フッ素ゴム）シールを採用することで、優れた真空性能を確保しています。1.0 × 10^-8 mbarクラスの高真空環境から1.2 barまでの幅広い圧力領域での使用が可能であり、バルブシートおよびボディのリークレートは1.0 × 10^-9 mbar･L/s以下と高い気密性を備えています。
圧力制御用のスロットルバルブとしての役割に加えて、プロセス終了後やポンプメンテナンス時の完全遮断バルブとしても機能するため、真空装置構成の省スペース化に寄与します。また、ステッピングモーターによる最適化された滑らかな開閉動作により、内部の摺動によるパーティクル（微粒子）の発生を最小限に抑え、クリーンなプロセス環境の維持に貢献する設計となっています。
【AIによる参考仕様】
シリーズ：95.2（コントロールゲートバルブ）
呼び径：DN160
主な機能：チャンバー圧力制御、真空遮断（アイソレーション）
バルブボディ材質：アルミニウム
シール材質（Oリング）：FKM（フッ素ゴム）
駆動方式：ステッピングモーター駆動
使用圧力範囲：1.0 × 10^-8 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
リークレート（バルブシート）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
リークレート（バルブボディ）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
最大許容差圧（閉弁時）：1.2 bar
最大差圧（制御動作時）：≤ 30 mbar
許容動作温度（バルブボディ）：120 ℃ 以下
許容動作温度（アクチュエータ部）：50 ℃ 以下
※上記は同シリーズ・同サイズの標準的な仕様に基づく参考値です。末尾の特殊仕様コードにより、接続フランジ形状やインターフェース等の詳細が異なる場合があります。
本装置は、真空プロセスにおける精緻なチャンバー圧力制御と、確実な真空遮断（アイソレーション）を1台で実現するコントロールゲートバルブです。ステッピングモーター駆動による高分解能なコンダクタンス制御（ガス流量制御）が可能であり、エッチングやCVD、PVDといった半導体・ディスプレイ製造工程など、厳密な圧力管理が求められる環境に適しています。
呼び径DN160（内径約160mm）の配管サイズに対応し、軽量なアルミニウム製のボディとFKM（フッ素ゴム）シールを採用することで、優れた真空性能を確保しています。1.0 × 10^-8 mbarクラスの高真空環境から1.2 barまでの幅広い圧力領域での使用が可能であり、バルブシートおよびボディのリークレートは1.0 × 10^-9 mbar･L/s以下と高い気密性を備えています。
圧力制御用のスロットルバルブとしての役割に加えて、プロセス終了後やポンプメンテナンス時の完全遮断バルブとしても機能するため、真空装置構成の省スペース化に寄与します。また、ステッピングモーターによる最適化された滑らかな開閉動作により、内部の摺動によるパーティクル（微粒子）の発生を最小限に抑え、クリーンなプロセス環境の維持に貢献する設計となっています。
【AIによる参考仕様】
シリーズ：95.2（コントロールゲートバルブ）
呼び径：DN160
主な機能：チャンバー圧力制御、真空遮断（アイソレーション）
バルブボディ材質：アルミニウム
シール材質（Oリング）：FKM（フッ素ゴム）
駆動方式：ステッピングモーター駆動
使用圧力範囲：1.0 × 10^-8 mbar ～ 1.2 bar (絶対圧)
リークレート（バルブシート）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
リークレート（バルブボディ）：1.0 × 10^-9 mbar･L/s 以下
最大許容差圧（閉弁時）：1.2 bar
最大差圧（制御動作時）：≤ 30 mbar
許容動作温度（バルブボディ）：120 ℃ 以下
許容動作温度（アクチュエータ部）：50 ℃ 以下
※上記は同シリーズ・同サイズの標準的な仕様に基づく参考値です。末尾の特殊仕様コードにより、接続フランジ形状やインターフェース等の詳細が異なる場合があります。