中古機 G6ミラー その他製、型式BN9-4444-030のご紹介

【AIによる装置概要】
キヤノンの等倍反射投影型露光装置(ミラープロジェクションアライナー)MPA-500FAの光学系に組み込まれる反射光学素子です。この方式の露光装置は投影レンズを用いず、台形ミラーと凹面ミラー、凸面ミラーを組み合わせた全反射光学系でマスクの像を等倍のままウエハへ転写します。円弧状に切り出した照明領域をマスクとウエハが同期走査することで基板全面を露光する構成で、反射光学系のため色収差が発生せず、超高圧水銀ランプのg線からi線までの広い波長帯をそのまま露光に利用できます。本品は装置内でG6と呼ばれる位置のミラーにあたります。全反射光学系では各ミラーの面精度と反射率がそのまま解像度・露光量の均一性に反映されるため、劣化した素子の入れ替え用途で需要が生じる部位です。
【AIによる参考仕様】
・適合装置：MPA-500FA
・部品番号：BN9-4444-030
・種別：反射光学素子(ミラー)
・投影倍率(装置側)：1:1
・解像度(装置側)：1.5 μm
・対応ウエハ径(装置側)：3〜5 インチ
・光学系構成(装置側)：台形ミラー・凹面ミラー・凸面ミラーの3種類
※G6という呼称はキヤノンの装置内部の光学素子呼称であり、どの素子(台形/凹面/凸面のいずれか)に対応するかは公開資料では確認できていない。現品と装置側の部品リストでの照合が必要。
※部品番号がG4ミラー(BN9-4443-030)と連番であり、同一ユニット内の対になる素子の可能性があるが未確認。
※反射面のコーティング仕様(誘電体膜かアルミ系金属膜か)は登録情報に記載が無く未確認。
※寸法・曲率・面精度・反射率などミラー単体の数値仕様は公開資料が無く未取得。