中古 Tylan バルブコントローラー AC-2X

本装置は、真空プロセスチャンバー内の圧力を高精度に制御するための適応型圧力コントローラーです。主に半導体製造プロセスや各種真空成膜装置において、排気ラインに設置されたモーター駆動式スロットルバルブと組み合わせて使用されます。キャパシタンスマノメーターなどの真空計から0〜10 VDCのアナログ圧力信号を受信し、設定された目標圧力値（セットポイント）を維持するようにバルブの開度を自動的に調節します。

主な特徴として、プロセス条件の変動に対して最適な制御パラメータを自動で演算・調整するアダプティブ（適応）制御アルゴリズムを搭載している点が挙げられます。これにより、チャンバー内への導入ガス流量の急激な変化や、プラズマ着火時に生じる圧力変動が発生した場合でも、オーバーシュートを最小限に抑えた迅速かつ安定した圧力制御が可能となります。

フロントパネルにはデジタルディスプレイが備わっており、現在の圧力値やバルブ開度（0〜100%）のリアルタイム監視、自動圧力制御モードとマニュアルポジション（開度固定）制御モードの切り替えを直感的に行うことができます。また、外部インターフェースを介したリモート制御にも対応しているため、既存の装置システムへの組み込みや集中制御を構築する用途にも適しています。