中古 MKS キャパシタンスマノメータ 622A12TAE

本装置は、周囲温度で作動する絶対圧測定用の静電容量式真空計（キャパシタンスマノメータ）です。センサ部のダイヤフラムおよび接ガス部には耐食性に優れたインコネル®（Inconel®）が採用されており、測定対象となるガスの種類や組成に依存せず、腐食性ガスなどの過酷な環境下でも高精度かつ安定した圧力測定が可能です。

当該型式のフルスケール測定レンジは100 Torrに設定されており、半導体製造プロセスをはじめ、各種真空チャンバーの圧力制御やモニタリングに適しています。内部にヒーターを持たない非加熱（周囲温度動作）タイプであるため、ウォームアップ時間が短く、消費電力が抑えられる点が特徴です。

配管の接続には外径1/2インチのストレートチューブを採用し、電気接続用には15ピンのD-subコネクタが搭載されています。アナログ出力は標準的な0～10 VDCに対応しているため、既存のPLCや制御システムへの組み込みが容易に行えます。