中古 アルバック Ulvac アングルバルブ VULH　150CM

真空配管の途中に入れて、流路を直角に曲げながら開け閉めする超高真空用のアングルバルブ。弁体を動かす軸をベローズで覆って真空側と大気側を仕切るベローズシール構造で、摺動部からの漏れ込みを抑える。手動で、ハンドルを回して開閉する。
フランジは現品写真ではボルト穴付きのCF形。金属ガスケットで締結する方式のため、ベーキングを行う超高真空の装置にも組み込みやすい。呼び径は型式の数字から150級と推定される。超高真空チャンバーの排気ラインや、ポンプとチャンバーの仕切り、ガスの導入やリーク用のラインなどに使われる。
到達圧力・コンダクタンス・シール材・耐熱温度・質量の公式の仕様は、メーカーの現行ページに無く確かめられていない。呼び径は型式からの推定のため、実際の寸法は現品で測って確かめる必要がある。