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中古 SMC アングルバルブ(空圧弁) XMA-16H0

本体価格(税別、送料別)15,000円
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メーカー
SMC
型式
XMA-16H0
機種
アングルバルブ
管理番号
Z20051135
引渡・支払
現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

XMA-16H0 の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

種別高真空L型(アングル)バルブ(空気圧作動、常時閉)
フランジサイズKF(NW)16
使用流体不活性ガス系の真空
使用圧力1×10⁻⁶Pa〜大気圧
使用温度5〜150(高温タイプ) ℃
コンダクタンス5 L/s
内部リーク量1.3×10⁻¹⁰(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s
外部リーク量1.3×10⁻¹¹(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s
ボディ材質ステンレス SCS13
ベローズ材質SUS316L
シール材質(標準)FKM
操作圧力0.4〜0.7 MPa(G)
空気消費量(0.5MPa時)19 cm³
質量0.33 kg

出典: smcworld.com

SMC XMA-16H0 の装置概要 AIによる記述です

本装置は、高真空プロセスラインでの使用に適したステンレス製のエアオペレート式高真空L型バルブ(常時閉:NCタイプ)です。接ガス部およびベローズに耐食性に優れたステンレス(SUS316L)を採用しており、不純物の放出を最小限に抑え、クリーンな真空環境を維持します。
本モデルは、バルブ本体を最大150℃の高温環境下で使用できる高温対応仕様(ヒータなし)となっており、配管の加熱(ベーキング)が必要なプロセスラインや、ガス結露・生成物の付着を防ぎたい真空排気系に最適です。接続フランジには汎用性の高いKF16(NW16)を採用しており、半導体・FPD製造装置、真空蒸着装置、分析装置など、高度な真空管理が求められる設備に幅広く対応します。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。

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