中古 アルバック Ulvac アングルバルブ VLH-US　40KF

本装置は、真空排気システムや真空装置の配管系において、流路の開閉や隔離を行うために使用される手動式のアングル（L型）バルブです。ボディ材質にステンレス鋼を採用しているため耐食性に優れ、内表面からの放出ガスが少なく抑えられています。これにより、大気圧から高真空領域（10⁻⁶ Pa台）までの幅広い圧力環境下において、システム内の清浄度を保ちながら安定した性能を維持します。

駆動方式はハンドル回転による手動式であり、圧縮空気や電源等の駆動用ユーティリティを一切必要としません。そのため、シンプルな真空システムの構築をはじめ、各種チャンバーやポンプラインのメンテナンス時の配管隔離、あるいは緊急時の確実な手動遮断といった用途に幅広く対応します。

本モデルの接続フランジ規格はKF40（NW40）を採用しており、該当サイズの配管において約45 L/sのコンダクタンスを確保しています。また、内部の可動部およびフランジ接続部のシール材には、真空用途で標準的なフッ素ゴム（FKM）製のOリングが使用されており、1.3×10⁻⁹ Pa・m³/s以下の優れた気密性を発揮します。真空装置の到達圧力を向上させるためのベーキング（加熱脱ガス）処理にも対応可能であり、シール材の耐熱範囲内（一般的に150℃以下）での加熱運用が可能です。