中古 SMC アングルバルブ（空圧弁） XMA-16H0

本装置は、真空配管系統の排気ラインやプロセスラインの開閉制御に用いられる、空圧操作式（常時閉：N.C.）の高真空L型バルブです。本体には軽量かつ熱伝導性に優れたアルミ合金を採用しており、コンパクトな設計により装置への実装スペースを削減します。バルブの駆動にはスプリングリターン式の空圧シリンダを使用し、操作空気を導入することで開弁、排気（無加圧）時には内蔵スプリングにより確実に閉弁する安全設計となっています。

本仕様は高温環境に対応可能な仕様（ヒーター非搭載モデル）であり、最高150℃（検知用オートスイッチなどの周辺機器を取り付けない状態）までのプロセス温度に対応します。接ガス部の主要シールにはフッ素ゴム（FKM）およびステンレス製ベローズを採用し、高真空領域での優れた気密性と低アウトガス性を実現しています。半導体製造装置や真空蒸着装置、分析機器などの高真空排気ラインに最適です。