中古 SMC アングルバルブ(空圧弁) XMA-16H0
本体価格(税別、送料別)15,000円
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- メーカー
- SMC
- 型式
- XMA-16H0
- 機種
- アングルバルブ
- 管理番号
- Z20051130
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XMA-16H0 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 高真空L型(アングル)バルブ(空気圧作動、常時閉) |
|---|---|
| フランジサイズ | KF(NW)16 |
| 使用流体 | 不活性ガス系の真空 |
| 使用圧力 | 1×10⁻⁶Pa〜大気圧 |
| 使用温度 | 5〜150(高温タイプ) ℃ |
| コンダクタンス | 5 L/s |
| 内部リーク量 | 1.3×10⁻¹⁰(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| 外部リーク量 | 1.3×10⁻¹¹(標準材質FKM、常温時・ガス透過除く) Pa·m³/s |
| ボディ材質 | ステンレス SCS13 |
| ベローズ材質 | SUS316L |
| シール材質(標準) | FKM |
| 操作圧力 | 0.4〜0.7 MPa(G) |
| 空気消費量(0.5MPa時) | 19 cm³ |
| 質量 | 0.33 kg |
出典: smcworld.com
SMC XMA-16H0 の装置概要 AIによる記述です
高真空ラインの配管開閉に適した、単動エアーオペレート式(スプリングリターン)のL型バルブです。内部に金属ベローズを採用したベローズシール方式により、摺動部からの発塵を極限まで抑え、高い気密性とクリーンな真空環境を維持します。
本製品は、ヒータを搭載しない常温仕様(対応温度5〜60℃)であり、接続フランジには一般的なKF16規格を採用しています。高真空領域(1.3 × 10^-6 Pa)から大気圧までの広範囲な圧力に対応し、半導体製造装置、真空成膜装置、分析機器などの排気ラインやガス導入ラインの制御に広く利用されています。アルミ合金製の軽量・コンパクトなボディにより、限られたスペースへの設置や配管への負荷軽減に貢献します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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