中古 堀場エステック Stec ピエゾバルブ PV-1502MC

本装置は、半導体製造プロセスや真空装置などの精密なガス供給ラインにおいて、ガス流量の超高速かつ高精度な制御を行うために設計されたピエゾ駆動式のコントロールバルブです。圧電素子（ピエゾアクチュエータ）の微細な伸縮を利用することで、一般的な電磁弁や熱膨張駆動のバルブを大きく上回るミリ秒単位の高速応答性と、優れた流量再現性を実現します。

接ガス部には金属材料を用いたメタルシール構造を採用しており、高純度ガスや腐食性ガスに対しても高い気密性と耐食性を維持します。特に本仕様のシリーズは最高150℃までの高温動作に対応しているため、液化材料の気化供給システムや高温配管内などの過酷な温度環境下でも安定した流量制御が可能です。また、電気信号が途絶えた際に弁が自動的に閉じる常時閉（Normally Closed）設計となっており、プロセス安全性の確保やインターロック構築に適しています。