中古 アルバック Ulvac クライオコンプレッサー C30VR
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- C30VR
- 機種
- クライオコンプレッサー
- 管理番号
- Z24082322
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
C30VR の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | クライオポンプ・スーパートラップ用ヘリウム圧縮機(水冷) |
|---|---|
| 定格使用電圧 | 190〜220VAC(50Hz)、200〜230VAC(60Hz)、三相 |
| 公称入力電力 | 5(50Hz)、6(60Hz) kW |
| 力率 | 0.85(50/60Hz共通) |
| 公称使用電流 | 17(50Hz)、21(60Hz) A |
| ロックドロータ電流 | 151 A |
| 冷却水温度 | 5〜32 ℃ |
| 冷却水流量 | 5〜15 L/min |
| 冷却水入口圧力 | 最大0.7 MPaG |
| 冷却水水質 | pH6.5〜8.0、カルシウム炭酸塩75ppm未満 |
| 使用周囲温度 | 10〜35(保存-10〜55) ℃ |
| 停止時ヘリウム充てん圧力 | 1.2±0.04(20℃) MPaG |
| 運転時音圧レベル | 70 dBA 未満 |
| 電源ケーブル | 銅線600VAC、グラウンド線と3本導線、#10AWG |
| 質量 | 127 kg |
※数値は社内保管のULVAC C30VRシリーズ 据付け・運転・保守マニュアル(表1-3〜1-5)による
※同じマニュアルにC30MVER・C30PVRTの値も載っているが、ここではC30VRの列を採った
※クライオポンプ本体・フレキシブルホースは別。組み合わせる冷凍機によって使える構成が変わる
※質量は取説の表1-2『コンプレッサの重量』の値(C30MVR 135kg / C30VR 127kg)。
出典: メーカー資料
アルバック Ulvac C30VR の装置概要 AIによる記述です
クライオポンプやスーパートラップの冷凍機にヘリウムガスを圧縮して送り、戻ってきたガスを再び圧縮する水冷式のヘリウム圧縮機(クライオコンプレッサー)。冷凍機の中でヘリウムを膨張させて極低温を作る仕組みの動力源にあたり、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置のクライオポンプ排気系で使われる。
電源は三相で、定格使用電圧は190〜220VAC(50Hz)・200〜230VAC(60Hz)、公称入力電力は5kW(50Hz)/6kW(60Hz)、公称使用電流は17A/21A、力率は0.85、ロックドロータ電流は151A。冷却水は温度5〜32℃・流量5〜15L/min・入口圧力は最大0.7MPaGで、水質はpH6.5〜8.0、カルシウム炭酸塩75ppm未満が求められる。停止時のヘリウム充てん圧力は1.2±0.04MPaG(20℃)、運転時の音圧レベルは70dBA未満、使用周囲温度は10〜35℃、質量は127kg。
クライオポンプ本体とフレキシブルホースは別で、組み合わせる冷凍機によって使える構成が変わる。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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