中古 アルバック Ulvac クライオコンプレッサー C30
本体価格(税別、送料別)400,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- C30
- 機種
- クライオコンプレッサー
- 管理番号
- Z24100701
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
C30 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | クライオポンプ用ヘリウム圧縮機ユニット(水冷) |
|---|---|
| 電源 | 三相AC190〜220V 50Hz / AC200〜230V 60Hz |
| 電力(50/60Hz) | 5.0/6.0 kW |
| 冷却水温 | 5〜32 ℃ |
| 冷却水量 | 5〜15 L/min |
| 冷却水配管圧力損失 | 0.02〜0.17 MPa |
| アドソーバー交換時間 | 24,000 h |
| 組み合わせるクライオポンプ | CRYO-U12H/U12HSP・U16/U16P・U20P・TORR10は1台、U22H・U30Hは2台(ポンプ1台あたり) |
| 外形寸法 | 680(高さ)×453(幅)×510(長さ) mm |
| 質量 | 135 kg |
※数値は社内保管の「C30型圧縮機ユニット取扱説明書」(アルバック・クライオ)の標準仕様表による
※フレキシブルホース・電源ケーブルの付属は個体で確認のこと
出典: メーカー資料
アルバック Ulvac C30 の装置概要 AIによる記述です
クライオポンプの冷凍機に高圧のヘリウムガスを送り、戻ってきた低圧のガスを再び圧縮する水冷式のヘリウム圧縮機ユニット。冷凍機の中でヘリウムを膨張させて極低温を作る仕組みの動力源にあたり、スパッタリングや蒸着の成膜装置、半導体製造装置などのクライオポンプ排気系で使われる。
電源は三相AC190〜220V 50Hz/AC200〜230V 60Hzで、電力は5.0/6.0kW(50/60Hz)。冷却水は水温5〜32℃・水量5〜15L/minで、配管の圧力損失は0.02〜0.17MPa。ヘリウムの汚れを取るアドソーバーの交換時間は24,000h。組み合わせるクライオポンプは、CRYO-U12H/U12HSP・U16/U16P・U20P・TORR10なら1台、U22H・U30Hなら2台(ポンプ1台あたり)。外形寸法は680(高さ)×453(幅)×510(長さ)mm、質量は135kg。
フレキシブルホースと電源ケーブルが付属するかは個体で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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