中古 アルバック Ulvac クライオコンプレッサー C10ES

本装置は、クライオポンプシステムにおいて、冷凍機へ高圧・高純度のヘリウムガスを供給および循環させるための専用コンプレッサーユニットです。密閉型の圧縮機を搭載し、長期にわたる安定したガス循環と高い信頼性を確保しています。本体内部にはアドソーバー（吸着器）が組み込まれており、圧縮過程で混入する可能性のある微量のオイルミストや不純物を確実に取り除き、クライオポンプのコールドヘッドへ極めてクリーンなヘリウムガスを供給する役割を担います。

主に中小型クラスのクライオポンプとの組み合わせに最適化されており、半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置などで求められる高真空環境の構築・維持に貢献します。冷却方式は水冷式を採用しており、空冷式と比べて周囲への排熱や騒音が抑えられるため、クリーンルーム内や室温管理が厳格な設備環境への導入に適しています。

中古設備として導入を検討される際は、アドソーバーの累積稼働時間や交換履歴の確認が推奨されます。また、安定稼働の指標として、停止時のヘリウムガス静圧（充填圧力）が規定値を満たしているか、および冷却水系統の配管に詰まりがないかの事前確認が重要となります。