中古 アネルバ ANELVA / 住友重機械工業 クライオコンプレッサー CRC-870(CSW51)
本体価格(税別、送料別)300,000円
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- メーカー
- アネルバ ANELVA / 住友重機械工業
- 型式
- CRC-870(CSW51)
- 機種
- クライオコンプレッサー
- 管理番号
- Z26031708
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CRC-870(CSW51) の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | クライオポンプ用ヘリウム圧縮機ユニット(水冷式) |
|---|---|
| OEM元型式 | 住友重機械工業 CSW51 |
| 入力電源 | AC200V 三相 50/60Hz |
| 消費電力 | 5.2 / 6.3(50/60Hz) kW |
| 内蔵ブレーカ | 30 A |
| 冷却水量 | 300(最高水温30℃) L/h |
※値は現品銘板(住友重機械 CSW51)から。アネルバ側の型式 CRC-870 の公式資料は見つからず、対応クライオポンプ型式は未確認。
出典: 現品の銘板
アネルバ ANELVA / 住友重機械工業 CRC-870(CSW51) の装置概要 AIによる記述です
クライオポンプの冷凍機へ高圧のヘリウムガスを送り、戻ってきた低圧のガスを再び圧縮して循環させる、水冷式のヘリウム圧縮機ユニット。冷凍機の中でヘリウムを膨張させて極低温を作る仕組みの動力源にあたり、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置のクライオポンプ排気系で使われる。アネルバの型式で装置に組み込まれているが、OEM元は住友重機械工業のCSW51。
現品の銘板では、入力電源はAC200V三相50/60Hz、消費電力は5.2/6.3kW(50/60Hz)、内蔵ブレーカは30A。冷却水は300L/h(最高水温30℃)を流す。設置には三相の電源と冷却水の配管が要る。
数値は銘板から読んだ値で、アネルバ側の型式の公式資料は見つかっていない。組み合わせるクライオポンプの型式は確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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