中古 アングルバルブ
メーカー名
Vat
型式28332-GE01-0004/0127
年式表記:
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空プロセスにおいて優れた気密性と信頼性を発揮する、ベローズシール仕様の空気作動式アングルバルブです。口径DN 40(1.5インチ)のフランジ接続に対応し、半導体製造装置や真空コーティングシステム、排気ラインなどのクリーンな高真空環境に最適化されています。
内部の仕切りには耐久性の高いステンレス製ベローズを採用しており、可動部からの微小なパーティクル発生や外部からのガス流入を厳格に遮断します。アクチュエータ部には電磁弁(コントロールバルブ)とポジションインジケータ(リミットスイッチ)が一体化されており、外部信号による正確な自動開閉制御と、確実な動作状態の監視が可能です。長寿命設計とメンテナンスの容易性を両立し、真空システムの安定稼働をサポートします。
【AIによる参考仕様】
- **バルブタイプ**: ベローズシール式アングルバルブ
- **公称口径**: DN 40 (1 1/2インチ)
- **接続フランジ仕様**: ISO-KF 40
- **作動方式**: 空気作動式(シングルアクティング・常時閉 NC、またはダブルアクティング仕様)
- **主要材質**:
- バルブ本体: ステンレススチール
- ベローズ: ステンレススチール
- シール材(シート/ボンネット): FKM(バイトン®)
- **圧力範囲**: 1.0 × 10^-8 mbar ~ 5.0 bar (絶対圧)
- **リークレート**:
- バルブ本体: 1.0 × 10^-9 mbar·l/s 以下
- バルブシート: 1.0 × 10^-9 mbar·l/s 以下
- **最大許容圧力差**:
- シーリング方向: 5.0 bar
- 逆方向: 2.0 bar
- **開動作時の最大圧力差**: 2.0 bar
- **排気速度(コンダクタンス)**: 約 45 l/s(分子流領域)
- **作動空気圧力**: 4.0 ~ 8.0 bar (60 ~ 115 psi)
- **許容動作温度**:
- バルブボディ: 150℃以下
- アクチュエータ・電磁弁部: 50℃以下
- **耐久サイクル数(目安)**: 約 200万回
- **付帯制御機能**:
- 駆動用電磁弁 搭載
- 位置検出用リミットスイッチ(ポジションインジケータ)搭載
※型式末尾の4桁の枝番(仕様コード)による違いについて:
これらは主に対象装置のOEM仕様に基づくものであり、搭載されている電磁弁の駆動電圧(例:DC 24V、AC 100Vなど)や、ポジションインジケータの出力接点・コネクタ仕様(配線ピンアサイン)の違いを示しています。詳細な電気接続仕様については現物の銘板および端子構成をご確認ください。
本装置は、高真空プロセスにおいて優れた気密性と信頼性を発揮する、ベローズシール仕様の空気作動式アングルバルブです。口径DN 40(1.5インチ)のフランジ接続に対応し、半導体製造装置や真空コーティングシステム、排気ラインなどのクリーンな高真空環境に最適化されています。
内部の仕切りには耐久性の高いステンレス製ベローズを採用しており、可動部からの微小なパーティクル発生や外部からのガス流入を厳格に遮断します。アクチュエータ部には電磁弁(コントロールバルブ)とポジションインジケータ(リミットスイッチ)が一体化されており、外部信号による正確な自動開閉制御と、確実な動作状態の監視が可能です。長寿命設計とメンテナンスの容易性を両立し、真空システムの安定稼働をサポートします。
【AIによる参考仕様】
- **バルブタイプ**: ベローズシール式アングルバルブ
- **公称口径**: DN 40 (1 1/2インチ)
- **接続フランジ仕様**: ISO-KF 40
- **作動方式**: 空気作動式(シングルアクティング・常時閉 NC、またはダブルアクティング仕様)
- **主要材質**:
- バルブ本体: ステンレススチール
- ベローズ: ステンレススチール
- シール材(シート/ボンネット): FKM(バイトン®)
- **圧力範囲**: 1.0 × 10^-8 mbar ~ 5.0 bar (絶対圧)
- **リークレート**:
- バルブ本体: 1.0 × 10^-9 mbar·l/s 以下
- バルブシート: 1.0 × 10^-9 mbar·l/s 以下
- **最大許容圧力差**:
- シーリング方向: 5.0 bar
- 逆方向: 2.0 bar
- **開動作時の最大圧力差**: 2.0 bar
- **排気速度(コンダクタンス)**: 約 45 l/s(分子流領域)
- **作動空気圧力**: 4.0 ~ 8.0 bar (60 ~ 115 psi)
- **許容動作温度**:
- バルブボディ: 150℃以下
- アクチュエータ・電磁弁部: 50℃以下
- **耐久サイクル数(目安)**: 約 200万回
- **付帯制御機能**:
- 駆動用電磁弁 搭載
- 位置検出用リミットスイッチ(ポジションインジケータ)搭載
※型式末尾の4桁の枝番(仕様コード)による違いについて:
これらは主に対象装置のOEM仕様に基づくものであり、搭載されている電磁弁の駆動電圧(例:DC 24V、AC 100Vなど)や、ポジションインジケータの出力接点・コネクタ仕様(配線ピンアサイン)の違いを示しています。詳細な電気接続仕様については現物の銘板および端子構成をご確認ください。
