中古機 DC電源（ピナクルプラス） アドバンスドエナジー　AE製、型式M/N　3152533-356Cのご紹介

【AIによる装置概要】
当装置は、反応性スパッタリングなどの高精度なプラズマプロセス用途に特化して開発されたパルスDC電源です。連続的なDC出力に加えてパルス出力機能を備えており、ターゲット表面に蓄積する電荷をパルス反転によって効率的に中和します。最大出力電力は10kWであり、パルス周波数はプロセスの要件に合わせて5kHzから最大350kHzという幅広い帯域で細かく調整可能です。

特に酸化膜や窒化膜といった絶縁膜の成膜プロセスで課題となる異常放電（アーク）に対して優れた制御能力を発揮します。1マイクロ秒（μs）未満の極めて短い応答時間でアークを検知し、即座にエネルギー供給を抑制・遮断する高度なアークマネジメント機能を搭載しています。これにより、基板へのダメージやパーティクルの発生を最小限に抑え、高品質な薄膜形成と歩留まりの向上に寄与します。また、装置の冷却方式には水冷を採用しており、10kWの高出力による長時間の連続稼働でも安定した熱管理を実現し、プロセスの再現性を維持する設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・最大出力電力: 10 kW
・出力モード: 連続DC、パルスDC
・パルス周波数範囲: 5 kHz 〜 350 kHz
・アーク検知・応答時間: 1 μs未満
・アーク回復時間: ユーザー設定可能
・出力電圧/電流: 内部タップ設定およびプロセス負荷に依存（最大約800V〜1000Vクラス）
・パルス制御: パルス幅およびデューティ比の可変調整
・冷却方式: 水冷（冷却水流量・圧力の指定あり）
・保護機能: 過電圧、過電流、冷却水流量低下、過温度保護など
・通信インターフェース: RS-232C、アナログI/O（構成によりProfibusなどの各種ネットワーク規格に対応）
・入力電源: 3相交流（※仕様・構成により400VACまたは480VAC等となるため、実機の定格銘板の確認を推奨）

※上記は同一シリーズの10kWモデルにおける標準的なカタログスペックに基づいた参考仕様です。本型式の内部設定や搭載オプションによって一部の仕様範囲が異なる場合があります。