中古 アドバンスドエナジー AE DC電源 MDX-10K M/N3152012-102A
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- メーカー
- アドバンスドエナジー AE
- 型式
- MDX-10K M/N3152012-102A
- 機種
- DC電源
- 仕様
- DELTA SLAVE
- 管理番号
- Z25121606
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
MDX-10K M/N3152012-102A の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | DCマグネトロンスパッタ用電源(Advanced Energy MDX 10K) |
|---|---|
| 出力電力 | 10 kW |
| 出力電圧 | 0〜1000 V |
| 出力電流 | 0〜20 A |
| 出力(TAP1) | 0〜600V / 0〜20A |
| 出力(TAP2) | 0〜800V / 0〜16A |
| 出力(TAP3) | 0〜1000V / 0〜12.5A |
| 出力リップル | 2 %RMS |
| 制御モード | 電力・電流・電圧 |
| 入力電源 | 三相 208VAC±10% 50/60Hz |
| 入力電流(208V側) | 40 A |
| 仕様 | DELTA SLAVE(連結運転の従属機設定) |
| 状態表示 | ARC / SETPOINT / OUTPUT / POWER / TEMPERATURE(前面LED) |
※出力の定格は社内の MDX-10K 取扱説明書(日本語版 rev D)の STD-Z タイプの表による。Low-Z タイプ(最大25A)・High-Z タイプ(最大1250V/16A)は値が異なるので、現品のタイプは銘板で確認のこと
※出力電圧・出力電流は全タップの最大値で、同時には出せない(タップ切替で600V/20A・800V/16A・1000V/12.5A)
※取説の入力電源は208VAC三相。仕向地により入力仕様が異なる場合がある
出典: 現品の銘板、メーカー資料
アドバンスドエナジー AE MDX-10K M/N3152012-102A の装置概要 AIによる記述です
スパッタ装置のカソードに直流の電力を送ってプラズマを立てる、DCマグネトロンスパッタ用の電源。金属ターゲットの成膜などに使われ、電力・電流・電圧のどれを一定に保つかを選べる。仕様欄のDELTA SLAVEは、複数台をつないで運転するときの従属機の設定を示す。
出力電力は10kW。出力はタップで切り替え、TAP1で0〜600V/0〜20A、TAP2で0〜800V/0〜16A、TAP3で0〜1000V/0〜12.5Aを出す(最大電圧と最大電流は同時には出せない)。出力リップルは2%RMS。入力電源は三相208VAC±10% 50/60Hzで、入力電流は40A。前面のLEDでARC・SETPOINT・OUTPUT・POWER・TEMPERATUREの状態を示す。
値は社内の取扱説明書のSTD-Zタイプの表による。Low-Zタイプ(最大25A)とHigh-Zタイプ(最大1250V/16A)は値が違うため、現品のタイプは銘板で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
