中古 アドバンスドエナジー AE DC電源 MDX(3152011-056E)

マグネトロンスパッタのカソードに直流の電力を送ってターゲットの前にプラズマを立て、成膜に使うDC電源(MDX Magnetron Drive)。金属膜や導電膜をスパッタリングで作る装置に組み込まれる。前面にDELTAの表示がある型で、複数台を連結して運転する構成に向けた仕様にあたる。
制御はREGULATIONの切替で、定電力・定電流・定電圧のいずれかを選ぶ。前面のREMOTESでHOST・LEVEL・RAMP・ONの各項目を外部からの制御に切り替えられ、装置側の制御盤から出力の設定や運転の入切を行える。表示は左右2つの表示器にkW・V・Aを出し、ARC・RAMP・SETPOINT・PLASMA・TARGET LIFE・TEMP・WATER・VACUUMの状態表示で、異常放電やターゲットの使用量、冷却水と真空の条件を前面で確かめられる。
出力電力・電圧・電流の範囲は公式データシートが読めず、確かめられていない。銘板には型番と製造番号しか無く、出力の大きさと連結運転の相手は現品で確かめる必要がある。