中古 アドバンスドエナジー AE DC電源 MDX-5K M/N3152011-054H
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- メーカー
- アドバンスドエナジー AE
- 型式
- MDX-5K M/N3152011-054H
- 機種
- DC電源
- 管理番号
- Z25121607
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
MDX-5K M/N3152011-054H の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | DCマグネトロンスパッタ用電源(Advanced Energy MDX 5K) |
|---|---|
| 出力電力 | 5 kW |
| 出力電圧 | 0〜1000 V |
| 出力電流 | 0〜10 A |
| 出力電圧・電流(STD-Zタイプ、タップ切替) | TAP#1 0〜600V/0〜10A、#2 0〜800V/0〜8A、#3 0〜1000V/0〜6.25A |
| 入力電源 | 三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)+単相115VAC±10% |
| 出力リップル | 5% RMS(リップル周波数50kHz) |
| 状態表示 | ARC / SETPOINT / OUTPUT / POWER / TEMPERATURE(前面LED) |
※電気的仕様は社内保管の MDX-10K 取扱説明書(日本語、rev D)の「主な仕様」表にある MDX 5K 列による
※出力電圧・出力電流は STD-Z タイプのタップ(TAP#1〜#3)の最大値で、同時には出せない(1000V側では6.25A、10A側では600Vまで)
※取説の表では MDX-5K の Low-Z タイプは最大12.5A、High-Z タイプは最大1250V/8A。掲載機のインピーダンスタイプは写真から判別できず、現品で要確認
※M/N 3152011-054H はAEの部品番号で、入力電圧・タップ仕様の組み合わせは未確認
出典: 現品の銘板、メーカー資料
アドバンスドエナジー AE MDX-5K M/N3152011-054H の装置概要 AIによる記述です
DCマグネトロンスパッタ装置のカソードへ直流の電力を送る電源で、金属ターゲットなどのスパッタ成膜に使われる。出力の電圧をタップで切り替える方式で、ターゲットやプロセスの放電電圧に合わせて電圧と電流の配分を選ぶ。
出力電力は5kW。STD-Zタイプのタップの出力は、TAP#1が0〜600V/0〜10A、#2が0〜800V/0〜8A、#3が0〜1000V/0〜6.25Aで、最大電圧と最大電流は同時には出せない。出力リップルは5%RMS(リップル周波数50kHz)。入力電源は三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)と単相115VAC±10%。前面のLEDで、アークや出力、温度などの状態を示す。
値は社内保管のMDX-10K取扱説明書の仕様表にあるMDX 5Kの列による。Low-Zタイプは最大12.5A、High-Zタイプは最大1250V/8Aで、掲載機のタイプは現品で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
