中古 アドバンスドエナジー AE DC電源 MDX-5K(2011-056-D)
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- メーカー
- アドバンスドエナジー AE
- 型式
- MDX-5K(2011-056-D)
- 機種
- DC電源
- 管理番号
- Z26031704
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
MDX-5K(2011-056-D) の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | DCマグネトロンスパッタ用電源(MDX Magnetron Drive) |
|---|---|
| 出力電力 | 5 kW |
| 出力電圧 | 0〜1000 V |
| 出力電流 | 0〜10 A |
| 出力電圧・電流(STD-Zタイプ、タップ切替) | TAP#1 0〜600V/0〜10A、#2 0〜800V/0〜8A、#3 0〜1000V/0〜6.25A |
| 入力電源 | 三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)+単相115VAC±10% |
| 出力リップル | 5% RMS(リップル周波数50kHz) |
| 制御方式 | 定電力 / 定電流 / 定電圧(REGULATION 切替) |
| リモート制御 | HOST / LEVEL / RAMP / ON(前面 REMOTES) |
| 表示 | kW・V・A の左右2表示、ARC / RAMP / SETPOINT / PLASMA / TARGET LIFE / TEMP / WATER / VACUUM 状態表示 |
※電気的仕様は社内保管の MDX-10K 取扱説明書(日本語、rev D)の「主な仕様」表にある MDX 5K 列による
※出力電圧・出力電流は STD-Z タイプのタップ(TAP#1〜#3)の最大値で、同時には出せない(1000V側では6.25A、10A側では600Vまで)
※取説の表では MDX-5K の Low-Z タイプは最大12.5A、High-Z タイプは最大1250V/8A。掲載機のインピーダンスタイプは写真から判別できず、現品で要確認
※(2011-056-D)はAEの部品番号の一部とみられ、入力電圧・タップ仕様の組み合わせは未確認
出典: 現品の銘板、メーカー資料
アドバンスドエナジー AE MDX-5K(2011-056-D) の装置概要 AIによる記述です
マグネトロンスパッタのカソードに直流の電力を送ってターゲットの前にプラズマを立て、成膜に使うDC電源(MDX Magnetron Drive)。制御はREGULATIONの切替で定電力・定電流・定電圧から選べる。
出力電力は5kWで、出力電圧は0〜1000V、出力電流は0〜10A。STD-Zタイプではタップの切替で、TAP#1が0〜600V/0〜10A、#2が0〜800V/0〜8A、#3が0〜1000V/0〜6.25Aとなり、高い電圧と大きな電流は同時には出せない。出力リップルは5% RMS(リップル周波数50kHz)。入力電源は三相208VAC±10% 50/60Hz(20A)と単相115VAC±10%。前面のREMOTESでHOST・LEVEL・RAMP・ONを外部制御に切り替えられ、表示はkW・V・Aの値と、ARCやTARGET LIFEなどの状態を示す。
数値は同シリーズのMDX-10K取扱説明書にあるMDX 5Kの列による。Low-Zタイプは最大12.5A、High-Zタイプは最大1250V/8Aで、現品のインピーダンスタイプは確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
