中古 アドバンスドエナジー AE DC電源 MDX(2224-013-E)

スパッタリング装置のマグネトロンカソードに直流の電力を送り、ターゲットの前にプラズマを立てて成膜するためのDC電源(MDX Magnetron Drive)。磁石でプラズマをターゲットの近くに閉じ込めるマグネトロンカソードと組み合わせ、金属膜や導電膜をスパッタリングで作る工程に使われる。
制御はREGULATIONの切替で定電力・定電流・定電圧から選ぶ。前面のREMOTESでは、HOST・LEVEL・RAMP・ONの各項目を外部からの制御に切り替えられる。表示は左右2つの表示器でkW・V・Aを示し、ARC・RAMP・SETPOINT・PLASMA・TARGET LIFE・TEMP・WATER・VACUUMの状態を表示する。ARCは放電中の異常放電、TARGET LIFEはターゲットの使用量、WATERとVACUUMは冷却水と真空の条件にかかわる表示で、成膜中の放電と装置側の条件を前面で見られる。
出力電力・電圧・電流の範囲は公式データシートが読めず、確かめられていない。銘板には型番と製造番号しか無いため、出力の大きさは現品で確かめる必要がある。