中古 アドバンスドエナジー AE DC電源（MDX） M/N　3152012-112B

マグネトロンスパッタの成膜で、ターゲットに負の直流電圧をかけてアルゴンなどのガスを放電させ、プラズマを保つためのDC電源。プラズマ中の陽イオンがターゲットをたたいて原子をはじき出し、それが基板に積もって膜になる。ターゲットの裏の磁石で電子を表面の近くに閉じ込めるマグネトロン方式と組み合わせ、金属や導電性の材料の薄膜を作るスパッタ装置に組み込んで使われる。
放電のインピーダンスはガスの圧力やターゲットの消耗の具合で変わるため、スパッタ用のDC電源は出力を一定に保つように制御して放電を安定させる。MDXシリーズのMDX 10Kにあたる電源で、出力は10kW。
出力電圧・出力電流の範囲、入力電源、制御のインターフェース、外形寸法は公式のデータシートが読めず、確かめられていない。設置の前に、現品の銘板で入力電源の仕様を確かめる必要がある。