中古 入江工研 IKC アングルバルブ 1LV25NO

アングルバルブは、入口と出口の向きが直角になったL字形の真空バルブで、真空と真空、真空と大気を仕切ったり、通路を開け閉めしたりするのに使われる。真空容器と真空ポンプの間の排気の切り替え、ターボ分子ポンプと粗引きポンプの間の配管、大気に戻すためのベント、バイパスの配管など、真空装置の配管のあちこちに入っている。配管を直角に曲げる部分にそのまま置けるため、装置の配管をまとめやすい。
内部では、軸で上下する弁体を弁座に押し付けて通路を閉じる。弁体と弁座の間のシールには、一般にフッ素ゴム(FKM)などのOリングが使われる。弁体を動かす軸を外部と仕切る部分には、Oリングでシールする形と、金属のベローズ(ひだを付けた伸縮する金属の筒)で包む形がある。ベローズで仕切る形は、軸が動いても気密が保たれ、摺動による放出ガスも少ないので、高真空や超高真空の用途に向く。バルブ本体はステンレス鋼が多く、小型の機種にはアルミニウムのものもある。
駆動の方式には、ハンドルで回す手動のほか、圧縮空気で動かす空圧式がある。空圧式には、空気で開と閉の両方を動かす複動式と、空気で開き、空気が無くなるとばねで閉じる単動式があり、単動式は停電や空気の供給が止まったときに自動で閉じて真空を守れる。開閉の状態を外部に知らせる位置検出のスイッチを付けた機種も多い。大きな圧力差がかかったまま開けると気体が一気に流れてポンプや計器に負担がかかるため、どのバルブをどの順で開けるかは装置のシーケンスで決めておく。弁を閉じた状態で逆向きの圧力に耐えられるかは機種によって違うので、取り付ける向きにも注意が要る。
接続のフランジには、KF(ISO-KF)、ISO-K、CF(ICF)、JIS VFなどの規格があり、口径も小さなものから数百mm級の大口径まで幅広い。性能の目安となるリーク量は、本体と弁座とも1×10⁻¹⁰Pa·m³/s未満といった値がカタログに示される。ベーキングは150℃程度までが多く、金属シールの機種では開いた状態で200℃に耐えるものもある。超高真空の用途には、弁座まで金属でシールする機種が使われる。
入れ替えるときは、口径とフランジの規格、駆動方式(手動・複動・単動)と空気の圧力、操作用の電磁弁や位置スイッチの電圧、シールの材質と使う真空の範囲を既存の配管と突き合わせる。使用歴のあるバルブは、弁座のOリングとベローズの劣化がリークの原因になりやすいので、交換の部品が手に入るかも確かめておきたい。