中古 HVA アングルバルブ 14510-0073

本装置は、高真空および超高真空プロセスにおいて流路の確実な遮断・開閉を行う、ベローズシール方式の自動（エアー作動式）アングルバルブです。配管接続部には3インチのASAフランジを採用しており、大流量の排気ラインやプロセス配管に適しています。

内部の仕切り（隔壁）構造には、耐久性と気密性に優れたAM-350ステンレス鋼製の溶接ベローズを採用。これにより、駆動部の摺動によって発生する微小な摩耗粉（発塵）が真空側に混入するのを防ぎ、極めてクリーンな真空環境を維持します。バルブシートおよびボンネットのシール材には、耐熱性・耐薬品性に優れたFKM（バイトン）を使用しており、信頼性の高い気密性を確保しています。

駆動部はシングルアクティング（常時閉：スプリングリターン）仕様となっており、停電やエアー供給停止などの緊急時にもスプリングの力で自動的に閉状態に戻る安全設計です。