中古 VAT アングルバルブ 28332-GE01-0004／0127

本装置は、高真空プロセスにおいて優れた気密性と信頼性を発揮する、ベローズシール仕様の空気作動式アングルバルブです。口径DN 40（1.5インチ）のフランジ接続に対応し、半導体製造装置や真空コーティングシステム、排気ラインなどのクリーンな高真空環境に最適化されています。

内部の仕切りには耐久性の高いステンレス製ベローズを採用しており、可動部からの微小なパーティクル発生や外部からのガス流入を厳格に遮断します。アクチュエータ部には電磁弁（コントロールバルブ）とポジションインジケータ（リミットスイッチ）が一体化されており、外部信号による正確な自動開閉制御と、確実な動作状態の監視が可能です。長寿命設計とメンテナンスの容易性を両立し、真空システムの安定稼働をサポートします。