中古 ダイキン工業 コールドヘッド V108C5L

本装置は、真空装置内の残留ガスを極低温パネルに凝縮・吸着させることで高真空を生成するクライオポンプの心臓部にあたる、ギフォード・マクマホン（GM）サイクル式の極低温冷凍機（コールドヘッド）です。主に8インチ（口径200mm）クラスの高真空排気システムに組み込まれ、半導体製造プロセス、真空蒸着装置、各種研究開発用の真空チャンバーなどで利用されます。

専用のヘリウムコンプレッサーから供給される高圧ヘリウムガスの断熱膨張を利用し、第1段ステージで約80K（-193℃）、第2段ステージで約15K（-258℃）以下という極低温環境を形成します。この強力な冷却能力により、水蒸気や窒素、アルゴンなどの凝縮性ガスを物理的に凍結捕捉するだけでなく、第2段に配置された活性炭パネルによって水素やネオンなどの非凝縮性ガスも効率的に吸着排気します。

同シリーズの8インチモデルとしてクライオポンプシステムに構成された場合、水に対して約4000L/s、窒素に対して約1500L/sという高い排気速度を実現し、到達圧力は10^-8 Pa台の超高真空領域に達します。オイルなどのコンタミネーションが発生しない完全ドライでクリーンな真空環境を構築できる点が大きな特徴です。なお、本ユニットを単体で稼働させることはできず、適切な仕様の専用ヘリウムコンプレッサーおよび高圧フレキシブルホースと組み合わせて閉鎖サイクルを構築する必要があります。