中古 アイシン コールドヘッド GD101A

本装置は、高純度ヘリウムガスを作動流体とし、ギフォード・マクマホン（GM）サイクルを利用して極低温環境を構築する2段式のコールドヘッドです。主にクライオポンプの冷却源として真空排気システムに組み込まれるほか、超伝導デバイスや極低温センサーの冷却など、高真空および極低温を必要とする産業・研究分野で広く活用されています。

内部は2つの冷却ステージで構成されており、第1段ステージで熱輻射シールドやバッフルを冷却し、第2段ステージでクライオパネルなどの冷却対象を10K（マイナス263℃）以下の極低温まで強力に冷却します。専用のヘリウムコンプレッサーとフレキシブルホースを用いて接続し、閉サイクルシステムを形成するため、冷媒を消費することなく長期間の連続運用が可能です。

内部の可動部品には耐摩耗性に優れた素材が使用され、シール構造の最適化と相まって、長時間の稼働でも安定した冷却能力と温度維持性能を発揮します。半導体製造装置のスパッタリングやイオン注入プロセスにおけるクリーンな高真空維持、または各種分析機器・測定器の熱ノイズ低減において、高い信頼性を提供する中核コンポーネントです。