中古 ダイキン工業 コールドヘッド V108C6L

本装置は、ヘリウムガスの断熱膨張を利用して極低温環境を構築するギフォード・マクマホン（GM）サイクルを採用した2段式極低温冷凍機（コールドヘッド）です。主に真空排気装置である8インチクラスのクライオポンプの冷却源として組み込まれ、半導体製造装置や高真空環境が求められる研究開発など、厳密な真空制御が必要なシステムで広く使用されてきました。

内部機構として、モーター駆動によるディスプレーサの往復運動とバルブの開閉タイミングを同期させることで、第1段および第2段の冷却ステージを極低温まで冷却します。熱負荷の大きい輻射シールドおよびバッフルを冷却する第1段ステージは80K（約-193℃）において約35W〜40Wの冷却能力を持ちます。一方、気体分子を直接凝縮・吸着排気するクライオパネルを冷却するための第2段ステージは、20K（約-253℃）において約3.5W〜4.0Wの安定した冷却性能を発揮し、無負荷時の到達温度は10K以下に達します。

運用にあたっては、専用のヘリウム圧縮機（コンプレッサー）および高圧・低圧のフレキシブルホースと接続して閉鎖サイクルを形成する必要があります。長時間の連続運転を前提とした堅牢な設計となっており、真空性能の維持には定期的なオーバーホール（シール部品の交換や内部洗浄など）が推奨される産業用精密機器です。