中古 ダイキン工業 コールドヘッド V108C5L

本装置は、真空排気システムなどに組み込まれるクライオポンプ向けのギフォード・マクマホン（GM）サイクル極低温冷凍機における冷却ユニットです。専用のヘリウムコンプレッサから供給される高圧ヘリウムガスを内部で断熱膨張させることにより、極低温環境を作り出します。

主に8インチクラスのクライオポンプシステムに搭載され、半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置など、オイルフリーでクリーンな高真空・超高真空が要求されるプロセスにおいて、残留ガスや水分をパネル表面に物理的に吸着・凝縮させるための冷却源として機能します。

構造としては、第1ステージと第2ステージの2段階冷却方式を採用しており、第1ステージで約80K、第2ステージで約20Kという極低温を安定して維持することが可能です。第1ステージで約35W、第2ステージで約1.0Wの冷凍能力を備え、真空チャンバー内の熱負荷に対しても安定した冷却性能を発揮します。

長時間の連続運転に耐えうる堅牢な設計ですが、中古機器として導入・運用する際は、指定圧力での高純度ヘリウムガスの充填や、内部シール材などの消耗部品のオーバーホール状況を確認することが推奨されます。運用には適合する専用コンプレッサおよび高圧ホースラインの接続が必須となります。