中古 ダイキン工業 コールドヘッド V108C6L

本機は、真空排気システムなどに用いられるクライオポンプシステムに組み込まれる、GM（ギフォード・マクマホン）サイクル方式の極低温冷凍機膨張部です。専用の圧縮機（コンプレッサー）から供給される高圧ヘリウムガスを本体内部のシリンダー内で断熱膨張させることにより、極低温環境を生成します。半導体製造プロセスや真空蒸着装置などで求められる高真空・超高真空領域において、水蒸気や各種プロセスガスをクライオパネル表面に凝縮および吸着排気するための重要な冷却源として機能します。

本仕様は主に8インチクラスのクライオポンプシステム等への搭載を想定した設計となっており、2段式の冷却ステージを備えています。第1ステージでは主に水蒸気などの排気を担うバッフルや熱輻射シールドの冷却を行い（約80K）、第2ステージではアルゴン、窒素、水素などのガスを凝縮・吸着するための極低温（約10K〜20K）を提供します。内部のモーター駆動によるバルブ切り替え機構により、ヘリウムガスの給排気タイミングを正確に制御し、連続的かつ安定した冷却性能を維持します。

中古市場においては、これまでの累積稼働時間や定期的なオーバーホール履歴、内部シールの摩耗状態、および動作時の異音の有無などが、本来の冷却能力を確保する上での重要な確認項目となります。