中古 岩谷産業 クライオコンプレッサー CW303

本装置は、真空排気システムに組み込まれるクライオポンプのコールドヘッドへ、高純度のヘリウムガスを圧縮・循環供給するための水冷式コンプレッサーユニットです。ヘリウムガスの断熱膨張を利用して極低温環境を作り出すクライオポンプの主たる駆動源として機能します。

圧縮過程で発生する熱を冷却水を用いて排出する水冷方式を採用しており、空冷式と比較して周囲への排熱影響が少なく、クリーンルーム内や空調設備の負荷を抑えたい環境での連続運転に適しています。本体内部にはオイルセパレーターやアドソーバー（吸着器）が組み込まれており、圧縮されたヘリウムガスから潤滑油のミストや微細な不純物を物理的に除去し、純度99.999%以上のクリーンなヘリウムガスをコールドヘッドへ供給する設計となっています。なお、性能維持のためアドソーバーは所定の稼働時間ごとの交換が必要です。

出力クラスとしては、主に8インチから12インチ口径のクライオポンプ（CRYO-U8H、CRYO-U10Hなど）への単体接続に対応しています。半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置など、安定した高真空・超高真空環境が求められるプロセスにおいて、排気能力を維持するための重要な中核ユニットとして運用されます。