中古 日立 Hitachi 走査電子顕微鏡（SEM） SU1510
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- メーカー
- 日立 Hitachi
- 型式
- SU1510
- 機種
- 走査電子顕微鏡（SEM）
- 年式
- 2014年
- 管理番号
- Z24052101
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
SU1510 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 二次電子像分解能 | 3.0(30kV・WD5mm・高真空)/15(3kV・WD5mm・高真空) nm |
|---|---|
| 反射電子像分解能 | 4.0(30kV・WD5mm・6Pa) nm |
| 倍率 | 5〜300,000 倍 |
| 電子源 | タングステンヘアピンフィラメント(プリセンタードカートリッジ) |
| 加速電圧 | 0.3〜30 kV |
| 検出器 | 二次電子検出器、4分割半導体反射電子検出器(高真空・低真空) |
| 低真空の圧力設定範囲 | 6〜270(22段) Pa |
| 到達圧力 | 1.5×10⁻³ Pa |
| 排気系 | ターボ分子ポンプ250L/s+ロータリーポンプ135/162L/min(50/60Hz) |
| 試料ステージ | 5軸マニュアル(X 0〜80mm・Y 0〜40mm・Z 5〜50mm・R 360°・T -20〜90°) |
| 最大試料サイズ | 153(全域観察は126) mm径 |
| X線分析位置 | WD15mm・取出角35° |
| 電源 | 単相AC100V 2kVA 50/60Hz |
| 所要面積 | 1.7×2.0 m |
| 設置機器の総質量 | 472 kg |
※仕様は社内保管の取扱説明書(第1章 装置仕様および設置条件)による
※最低・最高倍率は加速電圧・WD・スキャン速度で変わる
※総質量472kgは取扱説明書の床強度の計算に使う設置機器一式の値
※AC100V以外の電源で使うにはオートトランス(オプション)が要る
※X線分析装置や赤外線チャンバースコープなどのオプションが付属するかは個体による
出典: メーカー資料
日立 Hitachi SU1510 の装置概要 AIによる記述です
電子線を細く絞って試料の表面を走査し、出てくる二次電子や反射電子を検出して、表面の形や組成の違いを拡大像にする走査電子顕微鏡(SEM)。電子源はタングステンのヘアピンフィラメントで、加速電圧は0.3〜30kV。高真空モードの二次電子像に加えて、4分割の半導体反射電子検出器で高真空・低真空の両方の反射電子像を撮れる。低真空では試料室の圧力を6〜270Paの範囲で設定でき、導電処理をしていない試料も観察しやすい。
分解能は二次電子像で3.0nm(30kV・WD5mm)、反射電子像で4.0nm(30kV・WD5mm・6Pa)、倍率は5〜300,000倍。試料ステージは5軸のマニュアル駆動で、最大153mm径の試料を載せられる。X線分析の位置はWD15mm・取出角35°で、エネルギー分散型X線分析装置を組み合わせて元素分析に使う構成も取れる。電源は単相AC100V 2kVAで、設置には1.7m×2.0mの面積が要る。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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