中古 アドバンスドエナジー AE DC電源（ピナクルプラス） M/N 3152533-356C
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- メーカー
- アドバンスドエナジー AE
- 型式
- M/N 3152533-356C
- 機種
- DC電源
- 仕様
- 10KW
- 備考
- 複数台有り
- 管理番号
- Z24101102
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
M/N 3152533-356C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | パルスDC電源(反応性スパッタ用) |
|---|---|
| 出力電力 | 10 kW |
| 出力電圧 | 325〜800 V |
| パルス周波数 | 5〜350(デューティ可変) kHz |
| アーク応答 | 蓄積エネルギー1mJ/kW未満、ハードアーク検出25µs未満、遮断200µs未満 |
| 出力再現性 | ±0.1%(定格の10〜100%) |
| 入力電源 | 三相200/208、400、480VAC(±10%)50〜60Hz、中性線不要 |
| 効率・力率 | 効率90%超、力率0.95超 |
| 制御インターフェース | 37ピンアナログ(0〜10V/0〜5V)、RS-232/422/485(AE Bus)、Profibus、DeviceNet |
| 外形寸法(コネクタ含む) | 3U: 128(H)×483(W)×574(D) mm |
| 質量 | 21.8〜25.9(構成による) kg |
※出力電圧325〜800Vはタップ切替なしの動作範囲で、6.25:1のインピーダンス範囲に対応する
※出力電流の上限はデータシートに記載が無い(10kW/325V換算で約30A)
出典: advancedenergy.com
アドバンスドエナジー AE M/N 3152533-356C の装置概要 AIによる記述です
反応性スパッタで使うパルスDC電源。直流の電圧を周期的に短く反転させてターゲットの表面にたまった電荷を逃がし、異常放電(アーク)を起こりにくくする。金属ターゲットと反応性ガスで酸化物や窒化物などの絶縁膜を作る工程に使われる。
出力電力は10kW、出力電圧は325〜800Vで、タップを切り替えずに6.25:1のインピーダンスの範囲に対応する。パルス周波数は5〜350kHzで、デューティを変えられる。アークへの応答は、たまるエネルギーが1mJ/kW未満、ハードアークの検出が25µs未満、遮断が200µs未満。出力の再現性は定格の10〜100%で±0.1%、効率は90%超、力率は0.95超。入力電源は三相200/208、400、480VAC(±10%)50〜60Hzで中性線は要らない。制御は37ピンのアナログ(0〜10V/0〜5V)、RS-232/422/485(AE Bus)、Profibus、DeviceNetに対応する。外形は3Uで128(H)×483(W)×574(D)mm(コネクタ含む)、質量は構成により21.8〜25.9kg。
出力電流の上限はデータシートに記載が無い。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
