中古 VAT アングルバルブ 26432-KA01-0001/0387
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- メーカー
- VAT
- 型式
- 26432-KA01-0001/0387
- 機種
- アングルバルブ
- 管理番号
- Z26011201
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
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26432-KA01-0001/0387 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール、手動式) |
|---|---|
| 呼び径 | DN40(ISO-KF40) |
| ボディ材質 | アルミニウム(EN AW-6060/6061/6063/6082) |
| 使用圧力範囲 | 1×10⁻⁶Pa〜0.5MPa(abs) |
| リーク量(ボディ・バルブシート) | 1×10⁻¹⁰未満 Pa·m³/s |
| 許容最大差圧(開方向) | 0.2MPa以下 |
| 許容最大差圧(閉方向) | 0.5MPa以下 |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | 0.1MPa以下 |
| プレート材質 | AISI 316L |
| ベローズ材質 | AISI 316L / AISI 316Ti |
| シール材質(ボンネット・プレート) | FKM(Viton) |
| 許容温度(バルブボディ) | 150℃以下 |
| 許容温度(手動アクチュエータ) | 120℃以下 |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 10,000回(手動式) |
| 取付け方向 | 自由 |
出典: メーカー資料
VAT 26432-KA01-0001/0387 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、高真空および超高真空環境におけるガス流量制御やラインの隔離を目的とした空圧駆動式のアルミニウム製アングルバルブです。主に半導体製造装置、各種真空排気システム、研究開発用の真空チャンバーなど、高度な気密性が求められる設備において使用されます。
駆動部には単動の空圧式（ノーマルクローズ）を採用しています。これにより、装置への圧縮エア供給が意図せず停止した場合でも、内蔵スプリングの力でバルブが自動的に閉鎖されるフェイルセーフ機能が働き、真空システムの安全性を確保します。
接続ポートはDN40（ISO-KF 40）フランジ規格に対応しており、ボディ材質には軽量で熱伝導性に優れたアルミニウムが採用されています。また、主要なシール材質にはFKM（フッ素ゴム）が使用されており、1×10^-9 mbar・L/s未満の優れたリークレート性能を実現しています。対応可能な圧力範囲は1×10^-9 mbarの真空域から最大2.5 bar（絶対圧）までと広く、粗引きラインからメインの排気ラインまで、幅広いプロセス条件に適用できる仕様となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。