中古 VAT アングルバルブ 26432-KA01-0001/0384

真空システムにおいて、排気ラインの遮断や制御に用いられる空圧作動式のアルミニウム製アングルバルブです。本体材質に軽量なアルミニウム合金、稼動部にはパーティクルの発生が少ないステンレス鋼製のベローズシールを採用しており、高真空領域である1×10^-8 mbarから1.2 bar（絶対圧）までの幅広い圧力環境に対応します。

作動方式は単動式の空圧アクチュエータ（ノーマルクローズ）を搭載しています。4〜8 barの圧縮空気を供給することでバルブが開き、空気圧の供給停止時や動力喪失時には内蔵スプリングによって自動的に閉鎖されるフェイルセーフ構造を備えています。フランジサイズはISO-KF40（DN40）規格に準拠しており、分子流領域におけるコンダクタンスは約45 L/sを確保し、効率的な排気を実現します。また、メインシールには耐久性に優れたFKM（フッ素ゴム）が使用されています。

ボディおよびバルブシートのリークレートは1×10^-9 mbar・L/s未満に抑えられており、クリーンかつ高精度な真空環境の維持に貢献します。初回メンテナンスまでの耐久動作回数は約300万回と長寿命であり、バルブ開閉時間も約0.1秒と高速なため、半導体製造装置や研究用真空チャンバーにおける排気ラインの制御用コンポーネントとして安定した運用が可能です。