中古 クライオポンプ
メーカー名
アルバック
型式CRYO-U8H
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
300,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空および超高真空領域のクリーンな排気を目的とした8インチ口径のクライオポンプです。ヘリウム冷凍機を用いて内部のクライオパネルを極低温（約10K～15K）に冷却し、気体分子を直接パネル表面に凝縮および吸着させることで排気を行います。作動流体や潤滑油を使用しないため、系内へのオイルバック（油分の逆流）の懸念がなく、極めて清浄な真空環境を構築できる構造となっています。
性能面では、水に対して4,000 L/s、窒素に対して1,500 L/s、水素に対して2,200 L/sの排気速度を備えています。到達圧力は10^-8 Pa台の超高真空に対応し、アルゴンの最大排気容量は約1.3 × 10^7 Pa・Lを確保しています。また、クロスオーバー許容値は20,000 Pa・Lとなっており、粗引きポンプからの切り替え時における圧力負荷にも適応する設計です。常温からの冷却にかかる時間は、電源周波数に応じて約70〜85分程度です。
真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置をはじめ、半導体製造装置、電子顕微鏡、表面分析装置など、オイルフリーでの大排気量と高い到達真空度が求められる多様な真空設備に組み込まれて使用されます。
【AIによる参考仕様】
接続フランジ：VG200 / ICF253
排気速度（水）：4,000 L/s
排気速度（窒素）：1,500 L/s
排気速度（アルゴン）：1,200 L/s
排気速度（水素）：2,200 L/s
アルゴン最大排気容量：1.3 × 10^7 Pa・L
水素最大排気容量：1.3 × 10^6 Pa・L
クロスオーバー許容値：20,000 Pa・L
到達圧力：10^-8 Pa 台
冷却時間（50Hz）：約85分
冷却時間（60Hz）：約70分
質量：約18 kg
本装置は、高真空および超高真空領域のクリーンな排気を目的とした8インチ口径のクライオポンプです。ヘリウム冷凍機を用いて内部のクライオパネルを極低温（約10K～15K）に冷却し、気体分子を直接パネル表面に凝縮および吸着させることで排気を行います。作動流体や潤滑油を使用しないため、系内へのオイルバック（油分の逆流）の懸念がなく、極めて清浄な真空環境を構築できる構造となっています。
性能面では、水に対して4,000 L/s、窒素に対して1,500 L/s、水素に対して2,200 L/sの排気速度を備えています。到達圧力は10^-8 Pa台の超高真空に対応し、アルゴンの最大排気容量は約1.3 × 10^7 Pa・Lを確保しています。また、クロスオーバー許容値は20,000 Pa・Lとなっており、粗引きポンプからの切り替え時における圧力負荷にも適応する設計です。常温からの冷却にかかる時間は、電源周波数に応じて約70〜85分程度です。
真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置をはじめ、半導体製造装置、電子顕微鏡、表面分析装置など、オイルフリーでの大排気量と高い到達真空度が求められる多様な真空設備に組み込まれて使用されます。
【AIによる参考仕様】
接続フランジ：VG200 / ICF253
排気速度（水）：4,000 L/s
排気速度（窒素）：1,500 L/s
排気速度（アルゴン）：1,200 L/s
排気速度（水素）：2,200 L/s
アルゴン最大排気容量：1.3 × 10^7 Pa・L
水素最大排気容量：1.3 × 10^6 Pa・L
クロスオーバー許容値：20,000 Pa・L
到達圧力：10^-8 Pa 台
冷却時間（50Hz）：約85分
冷却時間（60Hz）：約70分
質量：約18 kg