中古 クライオポンプ
メーカー名
アルバック Ulvac
型式CRYO-U12HSP
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
400,000円
【AIによる装置概要】
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式(GMサイクル)のクライオポンプ。油を使わず、水蒸気や水素まで大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。圧縮機C30VRと組み合わせて使う。
排気速度は4,100L/sで、水素6,000L/s、アルゴン3,400L/s、水蒸気9,500L/s。到達圧力は10⁻⁷Pa台、最大流量は2.0×10³Pa·L/s、排気容量はアルゴン4.4×10⁸Pa·L、水素1.6×10⁶Pa·L。冷却降下時間は90/80分(50/60Hz)、吸気口フランジはUVG-300、質量は42kg。メンテナンスインターバルは16,000時間で、最大連結台数は3台。
ためた気体が排気容量に近づくと、温めて気体を出す再生が要る。数値はメーカーの現行仕様で、旧ロットでは値が異なる可能性がある。
【AIによる参考仕様】
・排気速度：4,100 L/s
・排気速度(水素)：6,000 L/s
・排気速度(アルゴン)：3,400 L/s
・排気速度(水蒸気)：9,500 L/s
・到達圧力：10⁻⁷ Pa
・最大流量：2.0×10³ Pa·L/s
・排気容量：アルゴン4.4×10⁸、水素1.6×10⁶ Pa·L
・冷却降下時間：90/80 分(50/60Hz)
・吸気口フランジ：UVG-300
・質量：42 kg
・組み合わせる圧縮機：C30VR(1台)
・方式：ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル)
・メンテナンスインターバル：16,000 時間
・最大連結台数：3 台
※メーカー公式(ULVAC CRYOGENICS英語サイト)の現行仕様。旧ロットで数値が異なる可能性がある
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式(GMサイクル)のクライオポンプ。油を使わず、水蒸気や水素まで大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。圧縮機C30VRと組み合わせて使う。
排気速度は4,100L/sで、水素6,000L/s、アルゴン3,400L/s、水蒸気9,500L/s。到達圧力は10⁻⁷Pa台、最大流量は2.0×10³Pa·L/s、排気容量はアルゴン4.4×10⁸Pa·L、水素1.6×10⁶Pa·L。冷却降下時間は90/80分(50/60Hz)、吸気口フランジはUVG-300、質量は42kg。メンテナンスインターバルは16,000時間で、最大連結台数は3台。
ためた気体が排気容量に近づくと、温めて気体を出す再生が要る。数値はメーカーの現行仕様で、旧ロットでは値が異なる可能性がある。
【AIによる参考仕様】
・排気速度：4,100 L/s
・排気速度(水素)：6,000 L/s
・排気速度(アルゴン)：3,400 L/s
・排気速度(水蒸気)：9,500 L/s
・到達圧力：10⁻⁷ Pa
・最大流量：2.0×10³ Pa·L/s
・排気容量：アルゴン4.4×10⁸、水素1.6×10⁶ Pa·L
・冷却降下時間：90/80 分(50/60Hz)
・吸気口フランジ：UVG-300
・質量：42 kg
・組み合わせる圧縮機：C30VR(1台)
・方式：ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル)
・メンテナンスインターバル：16,000 時間
・最大連結台数：3 台
※メーカー公式(ULVAC CRYOGENICS英語サイト)の現行仕様。旧ロットで数値が異なる可能性がある