中古 クライオポンプ
メーカー名
アネルバ ANELVA
型式CAP120 Mark2
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
200,000円
【AIによる装置概要】
本機は、極低温に冷却されたクライオパネルに真空容器内の気体分子を凝縮および吸着させることで排気を行う高性能クライオポンプです。オイルフリーかつクリーンな高真空・超高真空環境を構築できる特性から、半導体製造工程におけるスパッタリング装置、真空蒸着装置、表面分析装置などのメインポンプとして広く採用されています。
内部にはギフォード・マクマホン（GM）サイクル冷凍機を搭載しており、専用のヘリウムコンプレッサーと接続して運用されます。Mark2モデルは初期型と比較して冷却効率と構造の信頼性が改善されており、長時間の連続運転や高い排気負荷に対しても安定した性能を発揮するよう設計されています。
特に水蒸気に対する排気速度が極めて高く、真空チャンバーの立ち上げ時間を大幅に短縮することが可能です。稼働させることで、目標とする超高真空領域（10^-6〜10^-8 Pa台）までの素早い排気を実現します。なお、実際のシステム運用時には、単体ではなく粗引き用の補助真空ポンプや、定期的な再生（リジェネレーション）プロセスを実行するための周辺機器と組み合わせて使用されます。
【AIによる参考仕様】
吸気口フランジ：JIS VG200
排気速度（窒素 N2）：1,200 L/s
排気速度（水 H2O）：4,000 L/s
排気速度（アルゴン Ar）：1,000 L/s
排気速度（水素 H2）：2,000 L/s
到達圧力：5×10^-8 Pa 以下
クロスオーバー最大値：約 20,000 Pa・L
クールダウン時間：約 75 分
冷凍機サイクル：ギフォード・マクマホン（GM）方式
冷媒：高純度ヘリウムガス
本体質量：約 21 kg
本機は、極低温に冷却されたクライオパネルに真空容器内の気体分子を凝縮および吸着させることで排気を行う高性能クライオポンプです。オイルフリーかつクリーンな高真空・超高真空環境を構築できる特性から、半導体製造工程におけるスパッタリング装置、真空蒸着装置、表面分析装置などのメインポンプとして広く採用されています。
内部にはギフォード・マクマホン（GM）サイクル冷凍機を搭載しており、専用のヘリウムコンプレッサーと接続して運用されます。Mark2モデルは初期型と比較して冷却効率と構造の信頼性が改善されており、長時間の連続運転や高い排気負荷に対しても安定した性能を発揮するよう設計されています。
特に水蒸気に対する排気速度が極めて高く、真空チャンバーの立ち上げ時間を大幅に短縮することが可能です。稼働させることで、目標とする超高真空領域（10^-6〜10^-8 Pa台）までの素早い排気を実現します。なお、実際のシステム運用時には、単体ではなく粗引き用の補助真空ポンプや、定期的な再生（リジェネレーション）プロセスを実行するための周辺機器と組み合わせて使用されます。
【AIによる参考仕様】
吸気口フランジ：JIS VG200
排気速度（窒素 N2）：1,200 L/s
排気速度（水 H2O）：4,000 L/s
排気速度（アルゴン Ar）：1,000 L/s
排気速度（水素 H2）：2,000 L/s
到達圧力：5×10^-8 Pa 以下
クロスオーバー最大値：約 20,000 Pa・L
クールダウン時間：約 75 分
冷凍機サイクル：ギフォード・マクマホン（GM）方式
冷媒：高純度ヘリウムガス
本体質量：約 21 kg