中古機 クライオポンプ アネルバ　ANELVA製、型式CAP-80MarkⅡのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、極低温を利用して真空チャンバー内の気体分子をクライオパネル表面に凝縮および吸着させることで、クリーンな高真空・超高真空環境を構築するための溜め込み式真空ポンプです。内部にはギフォード・マクマホン（GM）サイクルを利用した小型冷凍機が組み込まれており、専用のヘリウムコンプレッサから高圧ヘリウムガスの供給を受けることで強力な冷却を行います。

ポンプ内部は主に2つの冷却ステージで構成されています。第1ステージ（クライオバッフル）は約80K（-193℃）以下に冷却され、主に水蒸気（H2O）や二酸化炭素（CO2）などの凝縮しやすいガスを効率的に捕獲します。第2ステージ（クライオパネル）は約15K（-258℃）以下まで冷却され、窒素（N2）やアルゴン（Ar）、酸素（O2）などのガスを氷結させて排気します。さらに、第2ステージの内側に配置された活性炭パネルにより、極低温でも凝縮しにくい水素（H2）やネオン（Ne）といった非凝縮性ガスを吸着排気する仕組みを採用しています。

本駆動方式は油や潤滑剤を真空空間に一切使用しないため、オイルミストによるコンタミネーションのない完全なドライ真空を得ることが可能です。溜め込み式ポンプであるため、ガスの保持量が吸着限界（キャパシティ）に達した際には、ポンプを室温付近まで昇温させて捕獲したガスを系外へ排出する再生処理（リジェネレーション）を行うことで、初期の排気性能を回復します。主にスパッタリング装置や真空蒸着装置、半導体製造プロセスなどの排気系に適用されます。

【AIによる参考仕様】
・接続フランジ：JIS-VG200 または ICF-253（※装着されているフランジ形状に依存）
・排気速度（L/s）
　水（H2O）：約 4,000
　窒素（N2）：約 1,500
　アルゴン（Ar）：約 1,200
　水素（H2）：約 2,200
・到達圧力：10^-8 Pa オーダー
・冷却方式：GM（ギフォード・マクマホン）サイクル冷凍機
・必要作動媒体：高純度ヘリウムガス（純度99.999%以上）
・第1ステージ温度：約 80 K 以下
・第2ステージ温度：約 15 K 以下
・駆動条件：適合する専用のヘリウムコンプレッサ、および高圧・低圧フレキシブルホースによる接続が必須
※ 上記の数値は該当口径クラスにおける標準的なカタログスペックの参考値です。実際の排気性能や到達真空度は、組み合わせて使用するコンプレッサの能力、真空チャンバー内の環境、および機器の経年状態により変動する場合があります。