中古 クライオポンプ
メーカー名
アルバック
型式CRYO-U8H
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
300,000円
【AIによる装置概要】
本機は、8インチ口径を備え、高真空から超高真空領域までの排気に対応する高性能なクライオポンプです。ギフォード・マクマホン（GM）サイクルを利用した極低温冷凍機を内蔵しており、気体分子を極低温のクライオパネルに直接凝縮および吸着させることで、完全なオイルフリーかつクリーンな真空環境を構築します。
特に水分の排気能力に優れており、水に対して4,000 L/sという極めて高い排気速度を実現しています。加えて、窒素（1,700 L/s）や水素（2,200 L/s）、アルゴン（1,400 L/s）など、各種ガスに対しても安定した排気性能を発揮します。クロスオーバー最大排気量は34,000 Pa・Lを確保しており、真空チャンバーの粗引き工程から高真空排気への移行時において、圧力変動に対する高い許容度を持ち合わせています。
半導体製造プロセスをはじめ、スパッタリング装置や真空蒸着装置、各種研究開発用途など、不純物のないクリーンな環境と強力な排気能力が求められる幅広い分野において、主排気ポンプとして運用される汎用性の高いモデルです。
【AIによる参考仕様】
・接続フランジ: VG200 / ICF253 / ANSI 8"（※現品の搭載規格をご確認ください）
・排気速度:
水 (H2O): 4,000 L/s
窒素 (N2): 1,700 L/s
アルゴン (Ar): 1,400 L/s
水素 (H2): 2,200 L/s
・最大排気流量:
アルゴン (Ar): 1,000 Pa･L/s
水素 (H2): 13 Pa･L/s
・クロスオーバー最大排気量: 34,000 Pa･L
・到達圧力: 10^-8 Pa台（※フランジ規格やシステム構成に依存します）
・冷却方式: ギフォード・マクマホン（GM）サイクル
・質量: 約 23 kg
※上記は標準的なメーカーカタログ値に基づく参考仕様です。実際の性能発揮および動作には、適応する専用コンプレッサ（圧縮機）との接続が必要となります。
本機は、8インチ口径を備え、高真空から超高真空領域までの排気に対応する高性能なクライオポンプです。ギフォード・マクマホン（GM）サイクルを利用した極低温冷凍機を内蔵しており、気体分子を極低温のクライオパネルに直接凝縮および吸着させることで、完全なオイルフリーかつクリーンな真空環境を構築します。
特に水分の排気能力に優れており、水に対して4,000 L/sという極めて高い排気速度を実現しています。加えて、窒素（1,700 L/s）や水素（2,200 L/s）、アルゴン（1,400 L/s）など、各種ガスに対しても安定した排気性能を発揮します。クロスオーバー最大排気量は34,000 Pa・Lを確保しており、真空チャンバーの粗引き工程から高真空排気への移行時において、圧力変動に対する高い許容度を持ち合わせています。
半導体製造プロセスをはじめ、スパッタリング装置や真空蒸着装置、各種研究開発用途など、不純物のないクリーンな環境と強力な排気能力が求められる幅広い分野において、主排気ポンプとして運用される汎用性の高いモデルです。
【AIによる参考仕様】
・接続フランジ: VG200 / ICF253 / ANSI 8"（※現品の搭載規格をご確認ください）
・排気速度:
水 (H2O): 4,000 L/s
窒素 (N2): 1,700 L/s
アルゴン (Ar): 1,400 L/s
水素 (H2): 2,200 L/s
・最大排気流量:
アルゴン (Ar): 1,000 Pa･L/s
水素 (H2): 13 Pa･L/s
・クロスオーバー最大排気量: 34,000 Pa･L
・到達圧力: 10^-8 Pa台（※フランジ規格やシステム構成に依存します）
・冷却方式: ギフォード・マクマホン（GM）サイクル
・質量: 約 23 kg
※上記は標準的なメーカーカタログ値に基づく参考仕様です。実際の性能発揮および動作には、適応する専用コンプレッサ（圧縮機）との接続が必要となります。