中古機 クライオポンプ アルバック　Ulvac製、型式CRYO-U12HSPのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空かつ大流量のガス排気が求められる真空プロセス、特にスパッタリング工程に最適化された大口径クライオポンプです。同等の標準モデルと比較して、成膜プロセスで多量に使用されるアルゴン（Ar）ガスの排気容量が大幅に拡張されている点が最大の特徴です。これにより、プロセス中の安定した圧力維持が可能となり、ポンプの再生（リジェネレーション）頻度を低減することで、装置の連続稼働時間の延長に貢献します。

排気性能については、水（H2O）に対して10,000 L/s、水素（H2）に対して6,000 L/s、窒素（N2）に対して3,700 L/s、アルゴン（Ar）に対して3,100 L/sという高い排気速度を備えています。到達圧力は10の-8乗 Pa台の超高真空領域を実現し、油を使用しない完全ドライな排気システムであるため、チャンバー内へのコンタミネーション（汚染）を極限まで嫌う半導体製造装置や電子部品の成膜用途に適しています。動作には専用のヘリウムコンプレッサーユニットとの接続が必要です。

【AIによる参考仕様】
接続フランジ：VG350
排気速度（水）：10,000 L/s
排気速度（水素）：6,000 L/s
排気速度（窒素）：3,700 L/s
排気速度（アルゴン）：3,100 L/s
到達圧力：10^-8 Pa台
最大許容クロスオーバー：40,000 Pa・L
冷却時間（20℃から20K）：約140分（50Hz） / 約120分（60Hz）
ガス捕獲方式：極低温における凝縮および吸着
特長仕様：アルゴン大容量排気（スパッタリング対応）
質量：約48 kg