中古 クライオポンプ
メーカー名
アルバック Ulvac
型式CRYO U 8H-U
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
200,000円
【AIによる装置概要】
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式(GMサイクル)のクライオポンプ。油を使わず、水蒸気や水素まで大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。冷凍機ユニットはR10で、温度計は水素蒸気圧温度計だけを備え、CA熱電対は持たない。
排気速度は1,700L/sで、水素2,700L/s、アルゴン1,400L/s、水蒸気4,000L/s。到達圧力は10⁻⁷Pa、最大流量はアルゴン1.2×10³・水素2.4×10²Pa·L/s、排気容量はアルゴン1.0×10⁸・水素1.0×10⁶Pa·L。冷却降下時間は100/90分(50/60Hz)、吸気口フランジはUVG-200、質量は20.3kg。圧縮機はC10・C10E・C10ES・SC・C2W-Uと組んで1台で運転するほか、C30MVでは3台までのマルチ運転ができる。
U8Hとは別型式として取扱説明書に載る派生型で、吸気口フランジはU8Hの外形図による値。
【AIによる参考仕様】
・排気速度：1,700 L/s
・排気速度(水素)：2,700 L/s
・排気速度(アルゴン)：1,400 L/s
・排気速度(水蒸気)：4,000 L/s
・到達圧力：10⁻⁷ Pa
・最大流量：アルゴン1.2×10³、水素2.4×10² Pa·L/s
・排気容量：アルゴン1.0×10⁸、水素1.0×10⁶ Pa·L
・冷却降下時間：100/90 分(50/60Hz)
・吸気口フランジ：UVG-200
・質量：20.3 kg
・組み合わせる圧縮機：C10、C10E、C10ES、SC、C2W-U(シングル運転)/C30MV(マルチ運転、3台まで)
・方式：ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル)
・冷凍機ユニット：R10
・温度計：水素蒸気圧温度計のみ(CA熱電対なし)
※掲載の型式表記「CRYO U 8H-U」はメーカー表記では「CRYO-U8H-U」。取扱説明書にU8Hとは別型式として載っている実在の派生型で、単なる表記揺れではない
※吸気口フランジの行は取説のU8H外形図(UVG-200/6B ANSI/UFC-253)によるもので、U8H-U固有の記載はない(同じ8インチ系のため同一と見ている)
※数値は社内保管のCRYO-Uシリーズ取扱説明書(表1-1 標準仕様)による
極低温に冷やした面に気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式(GMサイクル)のクライオポンプ。油を使わず、水蒸気や水素まで大きな排気速度で引けるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置、半導体製造装置の高真空排気に使われる。冷凍機ユニットはR10で、温度計は水素蒸気圧温度計だけを備え、CA熱電対は持たない。
排気速度は1,700L/sで、水素2,700L/s、アルゴン1,400L/s、水蒸気4,000L/s。到達圧力は10⁻⁷Pa、最大流量はアルゴン1.2×10³・水素2.4×10²Pa·L/s、排気容量はアルゴン1.0×10⁸・水素1.0×10⁶Pa·L。冷却降下時間は100/90分(50/60Hz)、吸気口フランジはUVG-200、質量は20.3kg。圧縮機はC10・C10E・C10ES・SC・C2W-Uと組んで1台で運転するほか、C30MVでは3台までのマルチ運転ができる。
U8Hとは別型式として取扱説明書に載る派生型で、吸気口フランジはU8Hの外形図による値。
【AIによる参考仕様】
・排気速度：1,700 L/s
・排気速度(水素)：2,700 L/s
・排気速度(アルゴン)：1,400 L/s
・排気速度(水蒸気)：4,000 L/s
・到達圧力：10⁻⁷ Pa
・最大流量：アルゴン1.2×10³、水素2.4×10² Pa·L/s
・排気容量：アルゴン1.0×10⁸、水素1.0×10⁶ Pa·L
・冷却降下時間：100/90 分(50/60Hz)
・吸気口フランジ：UVG-200
・質量：20.3 kg
・組み合わせる圧縮機：C10、C10E、C10ES、SC、C2W-U(シングル運転)/C30MV(マルチ運転、3台まで)
・方式：ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル)
・冷凍機ユニット：R10
・温度計：水素蒸気圧温度計のみ(CA熱電対なし)
※掲載の型式表記「CRYO U 8H-U」はメーカー表記では「CRYO-U8H-U」。取扱説明書にU8Hとは別型式として載っている実在の派生型で、単なる表記揺れではない
※吸気口フランジの行は取説のU8H外形図(UVG-200/6B ANSI/UFC-253)によるもので、U8H-U固有の記載はない(同じ8インチ系のため同一と見ている)
※数値は社内保管のCRYO-Uシリーズ取扱説明書(表1-1 標準仕様)による