中古機 クライオポンプ アルバック　Ulvac製、型式CRYO U 8H-Uのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、ヘリウム冷凍機を用いて極低温の冷却面を形成し、チャンバー内の気体分子を凝縮および吸着させることで真空排気を行う高真空・超高真空用ポンプです。口径8インチ（200mm）クラスの吸気口を持ち、オイルフリーで極めてクリーンな真空環境を構築できるため、半導体製造装置、スパッタリング装置、真空蒸着装置、ならびに各種研究開発用真空装置の主排気系として広く組み込まれています。

極低温パネルによる物理的な排気機構を採用しており、水（H2O）に対して約4,000 L/s、窒素（N2）に対して約1,700 L/sという高い排気速度を実現しています。さらに、凝縮しにくい水素（H2）などの軽ガスに対しても、冷却パネル裏面に配置された極低温の吸着材（活性炭など）により約2,200 L/sの安定した排気性能を発揮します。また、アルゴンガスの最大吸蔵容量が1.1×10^7 Pa・Lと大きく設計されており、スパッタリングプロセスなどの大量のガスを連続的に導入する用途においても、再生処理（リジェネレーション）までの運転サイクルを長期化できる構造となっています。

可動部が冷凍機ユニット内部のディスプレーサ等に限られているため、ターボ分子ポンプ等と比較して機械的トラブルの要因が少なく、長期間にわたる連続稼働でも高い信頼性を維持します。超高真空仕様となるメタルシールフランジ（ICF等）接続時には10^-8 Pa台の到達圧力を得ることが可能であり、要求の厳しい高度な真空プロセスに対応する基幹排気コンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
接続フランジサイズ：8インチクラス（VG200、ICF253等）
排気速度（水）：4,000 L/s
排気速度（窒素）：1,700 L/s
排気速度（アルゴン）：1,400 L/s
排気速度（水素）：2,200 L/s
最大吸蔵容量（アルゴン）：1.1 × 10^7 Pa・L
最大吸蔵容量（水素）：1.6 × 10^6 Pa・L
クロスオーバー最大許容量：1.33 × 10^5 Pa・L
到達圧力（メタルシールフランジ時）：10^-8 Pa 台
到達圧力（Oリングシールフランジ時）：10^-6 Pa 台
ポンプ本体質量：約 21 kg
※駆動および運転には、専用のヘリウムコンプレッサユニットとフレキシブルホースの接続が別途必要です。