中古 クライオポンプ
メーカー名
アルバック
型式CRYO-U8H
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
300,000円
【AIによる装置概要】
極低温面で気体分子を凝縮・吸着することにより排気を行う、8インチクラスの超高真空用クライオポンプです。完全なオイルフリー環境を構築できるため、半導体製造装置や真空蒸着装置、スパッタリング装置など、クリーンな高真空・超高真空が求められるプロセスに広く採用されています。
水分の排気速度は4,000 L/sと非常に高く、窒素（1,500 L/s）やアルゴン（1,200 L/s）といった不活性ガスに加え、水素（2,200 L/s）などの軽希ガスに対しても優れた排気性能を発揮します。室温（20℃）から20K以下の極低温までのクールダウン時間は約80分であり、最大アルゴン排気容量は1.06×10^6 Pa・Lを備えているため、ガスを多量に導入するスパッタリングプロセス等においても長時間の安定した稼働が可能です。
到達圧力は10^-8 Pa台を実現しており、ガス吸着による排気能力の飽和後は、定期的な昇温・粗引き（再生処理）を行うことで排気性能を完全に回復できます。なお、本装置単体では稼働せず、冷却のためのヘリウムガスを循環させる専用のヘリウムコンプレッサ（C15RやC30Rなど）およびフレキシブルホース、コントロールケーブルが別途必要となります。
【AIによる参考仕様】
接続フランジ規格：VG200 / ICF253（仕様により異なる）
水排気速度：4,000 L/s
窒素排気速度：1,500 L/s
アルゴン排気速度：1,200 L/s
水素排気速度：2,200 L/s
最大アルゴン排気容量：1.06×10^6 Pa・L
最大水素排気容量：1.6×10^4 Pa・L
クロスオーバー許容量：4.0×10^4 Pa・L
クールダウン時間（20℃～20K）：約80分
到達圧力：10^-8 Pa台
本体質量：約24 kg
適合コンプレッサ（参考）：C15R / C30R 等
極低温面で気体分子を凝縮・吸着することにより排気を行う、8インチクラスの超高真空用クライオポンプです。完全なオイルフリー環境を構築できるため、半導体製造装置や真空蒸着装置、スパッタリング装置など、クリーンな高真空・超高真空が求められるプロセスに広く採用されています。
水分の排気速度は4,000 L/sと非常に高く、窒素（1,500 L/s）やアルゴン（1,200 L/s）といった不活性ガスに加え、水素（2,200 L/s）などの軽希ガスに対しても優れた排気性能を発揮します。室温（20℃）から20K以下の極低温までのクールダウン時間は約80分であり、最大アルゴン排気容量は1.06×10^6 Pa・Lを備えているため、ガスを多量に導入するスパッタリングプロセス等においても長時間の安定した稼働が可能です。
到達圧力は10^-8 Pa台を実現しており、ガス吸着による排気能力の飽和後は、定期的な昇温・粗引き（再生処理）を行うことで排気性能を完全に回復できます。なお、本装置単体では稼働せず、冷却のためのヘリウムガスを循環させる専用のヘリウムコンプレッサ（C15RやC30Rなど）およびフレキシブルホース、コントロールケーブルが別途必要となります。
【AIによる参考仕様】
接続フランジ規格：VG200 / ICF253（仕様により異なる）
水排気速度：4,000 L/s
窒素排気速度：1,500 L/s
アルゴン排気速度：1,200 L/s
水素排気速度：2,200 L/s
最大アルゴン排気容量：1.06×10^6 Pa・L
最大水素排気容量：1.6×10^4 Pa・L
クロスオーバー許容量：4.0×10^4 Pa・L
クールダウン時間（20℃～20K）：約80分
到達圧力：10^-8 Pa台
本体質量：約24 kg
適合コンプレッサ（参考）：C15R / C30R 等