中古アルバック Ulvac RF電源 RFS-1330L

Name: アルバック Ulvac RF電源 RFS-1330L
Brand: アルバック Ulvac
SKU: D030893
Price: 400000 JPY
Availability: InStock

アルバック Ulvac RFS-1330L 外観写真(1/2) — 外観写真1 / 2

アルバック Ulvac RFS-1330L 銘板写真(2/2) — 銘板写真2 / 2

本体価格(税別、送料別)400,000円

この商品を問い合わせる

見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。

実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
支払い・納期・返品について(よくある質問)

メーカー: アルバック Ulvac
型式: RFS-1330L
機種: RF電源
仕様: 3KW、コントローラー付、マッチングボックス無
管理番号: D030893
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

RFS-1330L の参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

出力周波数	13.56 MHz
定格出力	3 kW
入力電源	三相AC200/220V 50/60Hz 14A
冷却	水冷、4L/min
質量	19 kg
後継シリーズ	RFS-Nシリーズ(RFS-1330N、整合器制御内蔵)

※数値は現品の銘板(RF GENERATOR RFS-1330L)から読んだ値。メーカーのRFS-Lシリーズ仕様表は現行サイトに無い

※出力コネクタ形状・制御インターフェース(アナログ/シリアル)・外形寸法は未確認

※マッチングボックス(整合器)は付かない(現品写真に写っているのは本体とコントローラーだけ)。コントローラーの型式は個体で確認のこと

出典: 現品の銘板、ulvac-es.co.jp

アルバック Ulvac RFS-1330L の装置概要　AIによる記述です

スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVDなどの装置で、真空槽の中にプラズマを立てるための高周波電力を供給するRF電源です。出力周波数は13.56 MHz、定格出力は3 kWで、電源は三相AC200/220V 50/60Hz 14Aを使います。
内部の発熱は冷却水で除く水冷方式で、冷却水は4L/minを流します。本体の質量は19 kgです。プラズマの負荷と電源の間には、インピーダンスを合わせるマッチングボックス(整合器)を入れて使うのが一般的です。
後継はRFS-Nシリーズ(RFS-1330N)で、整合器の制御を内蔵しています。出力コネクタの形状、制御インターフェース(アナログかシリアルか)、外形寸法は確認できていません。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。