中古 森エンジニアリング RF電源 SA3090

本装置は、半導体製造や各種真空プロセス（プラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチングなど）において、チャンバー内に安定したプラズマを発生・維持するために使用される高周波（RF）電源です。発振周波数はプラズマプロセスで標準的に利用されるISMバンドの13.56MHzを採用しており、ガスの電離効率と放電の安定性に優れた高周波電力を供給します。

本機は「306-B」システムの専用または組み込み用として設計されており、対応するインピーダンス整合器（オートマッチングボックス）や制御ユニットと連携することで、プロセス中の負荷変動に対しても迅速に追従します。出力インピーダンスは業界標準である50Ωに設定されているため、既存の標準的な同軸ケーブルや計測機器との接続互換性が確保されています。

内部回路には、負荷側からの反射波が増大した際にアンプ部を保護するVSWR（電圧定在波比）保護機能や、過電流、異常温度上昇を検知して出力を遮断するインターロック機能が搭載されています。これにより、プラズマの着火不良や突発的なインピーダンス変動が発生した場合でも、機器の致命的な破損を未然に防ぐ構造となっています。中古機器としてシステムに組み込む際は、対象となる306-B側との制御信号（I/O）のピンアサイン、および冷却要件の確認が必要です。